北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所(中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所)劉穎獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所(中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所)申請的專利一種鎖緊定位裝置及掩模傳輸裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN116081203B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202310115381.7,技術(shù)領(lǐng)域涉及:B65G29/00;該發(fā)明授權(quán)一種鎖緊定位裝置及掩模傳輸裝置是由劉穎;關(guān)宏武;王浩楠;符瑤;趙東雷設(shè)計研發(fā)完成,并于2023-02-07向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種鎖緊定位裝置及掩模傳輸裝置在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及掩模傳輸技術(shù)領(lǐng)域,具體而言,涉及一種鎖緊定位裝置及掩模傳輸裝置,包括驅(qū)動機構(gòu)、定位銷、檢測機構(gòu)和限位機構(gòu);所述驅(qū)動機構(gòu)安裝于所述固定支撐機構(gòu),所述驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動端與所述定位銷連接,用于驅(qū)動所述定位銷插入或脫出所述定位槽口,所述檢測機構(gòu)用于檢測所述定位銷是否位于所述定位槽口內(nèi);所述定位銷插入所述定位槽口后,所述限位機構(gòu)用于對所述定位銷進(jìn)行限位;其能夠?qū)ρ谀鬏斞b置的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)進(jìn)行高精度地鎖緊定位,且鎖緊定位完成后不需要手動拆卸,標(biāo)定完成后也不需要拆除,并且能夠提高標(biāo)定效率和重復(fù)定位精度。
本發(fā)明授權(quán)一種鎖緊定位裝置及掩模傳輸裝置在權(quán)利要求書中公布了:1.一種鎖緊定位裝置,用于對掩模傳輸裝置的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(1)進(jìn)行鎖緊定位,所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(1)包括旋轉(zhuǎn)電機(101)和定位板(102),所述旋轉(zhuǎn)電機(101)的固定部分固定于固定支撐機構(gòu)(3)、旋轉(zhuǎn)部分固定于所述定位板(102),所述定位板(102)的外側(cè)面開設(shè)有相對稱的定位槽口(1021),其特征在于,包括驅(qū)動機構(gòu)(2)、定位銷(4)、檢測機構(gòu)(5)和限位機構(gòu)(6); 所述驅(qū)動機構(gòu)(2)安裝于所述固定支撐機構(gòu)(3),所述驅(qū)動機構(gòu)(2)的驅(qū)動端與所述定位銷(4)連接,用于驅(qū)動所述定位銷(4)插入或脫出所述定位槽口(1021),所述檢測機構(gòu)(5)用于檢測所述定位銷(4)是否位于所述定位槽口(1021)內(nèi); 所述定位銷(4)插入所述定位槽口(1021)后,所述限位機構(gòu)(6)用于對所述定位銷(4)進(jìn)行限位; 還包括曲柄連桿機構(gòu)(7),所述曲柄連桿機構(gòu)(7)包括第一連桿(702)、第二連桿(703)、第一鉸接塊(701)和第二鉸接塊(704),所述第一連桿(702)的一端設(shè)置第一鉸接塊(701)、另一端通過所述第二鉸接塊(704)與所述第二連桿(703)的一端鉸接,所述第二連桿(703)的另一端與所述固定支撐機構(gòu)(3)鉸接,且所述第二連桿(703)上設(shè)置所述定位銷(4); 所述驅(qū)動機構(gòu)(2)包括伺服電機(201)和偏心軸(202),所述偏心軸(202)的一端與所述伺服電機(201)的輸出軸連接、另一端與所述第一鉸接塊(701)鉸接,所述伺服電機(201)用于帶動所述第一鉸接塊(701)偏心旋轉(zhuǎn),同時帶動所述定位銷(4)跟隨所述曲柄連桿機構(gòu)(7)曲線運動而能夠插入或脫出所述定位槽口(1021)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所(中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所),其通訊地址為:100176 北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)泰河三街1號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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