北京北方華創微電子裝備有限公司郭子煜獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利下電極系統及半導體工藝設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN117832055B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202410017018.6，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權下電極系統及半導體工藝設備是由郭子煜;郭士選;馬恩澤;蘇恒毅;郭春;徐珂浩;張輝設計研發完成，并于2024-01-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本下電極系統及半導體工藝設備在說明書摘要公布了：本發明提供一種下電極系統及半導體工藝設備，該系統包括承載裝置和頂針裝置，頂針裝置用于將承載裝置上的晶圓托起或將晶圓放置于承載裝置，還包括接地裝置，接地裝置包括接地電路、接地開關和控制單元，其中，接地電路通過接地開關與承載裝置中的下電極電連接，用于在接地開關閉合的情況下，將下電極接地；控制單元用于在半導體工藝的等離子體產生階段開始之前，控制接地開關斷開，并在等離子體產生階段結束，且頂針裝置將承載裝置上的晶圓托起之后，控制接地開關閉合。本方案可以提高晶圓的重復傳輸精度，保證AWC結果滿足要求。
本發明授權下電極系統及半導體工藝設備在權利要求書中公布了：1.一種下電極系統，應用于半導體工藝設備，包括承載裝置和頂針裝置，所述頂針裝置用于將所述承載裝置上的晶圓托起或將晶圓放置于所述承載裝置，其特征在于，還包括接地裝置，所述接地裝置包括接地電路、接地開關和控制單元，其中，所述接地電路通過所述接地開關與所述承載裝置中的下電極電連接，用于在所述接地開關閉合的情況下，將所述下電極接地； 所述控制單元用于在半導體工藝的等離子體產生階段開始之前，控制所述接地開關斷開，并在所述等離子體產生階段結束，且所述頂針裝置將所述承載裝置上的晶圓托起之后，控制所述接地開關閉合。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京北方華創微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區北京經濟技術開發區文昌大道8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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