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龍圖騰網(wǎng)獲悉合肥芯碁微電子裝備股份有限公司申請(qǐng)的專利標(biāo)定總成及具有其的曝光裝置獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223260027U 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202421971890.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該實(shí)用新型標(biāo)定總成及具有其的曝光裝置是由葉飛設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-08-13向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本標(biāo)定總成及具有其的曝光裝置在說(shuō)明書摘要公布了：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種標(biāo)定總成及具有其的曝光裝置，標(biāo)定總成包括支架、標(biāo)定件和導(dǎo)光件，支架上設(shè)有安裝槽；標(biāo)定件設(shè)于安裝槽上；導(dǎo)光件設(shè)于安裝槽上且導(dǎo)光件設(shè)于標(biāo)定件的出光側(cè)，導(dǎo)光件用于調(diào)整標(biāo)定件的標(biāo)定光束延伸路徑。通過(guò)在標(biāo)定件的出光側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有導(dǎo)光件，以讓標(biāo)定件的位置能夠根據(jù)需求調(diào)整，以讓標(biāo)定總成的結(jié)構(gòu)設(shè)置更為簡(jiǎn)單可靠。同時(shí)，由于使用導(dǎo)光件對(duì)標(biāo)定件的出光進(jìn)行調(diào)整，以讓標(biāo)定總成使用過(guò)程中能夠調(diào)整標(biāo)定路徑，以實(shí)現(xiàn)標(biāo)定總成的自動(dòng)標(biāo)定，從而讓標(biāo)定總成標(biāo)定使用具有更高的使用精度，以讓后續(xù)曝光裝置在使用過(guò)程中的曝光良率得到提升。

本實(shí)用新型標(biāo)定總成及具有其的曝光裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種標(biāo)定總成，其特征在于，包括： 支架，所述支架上設(shè)有安裝槽； 標(biāo)定件，所述標(biāo)定件設(shè)于所述安裝槽上； 導(dǎo)光件，所述導(dǎo)光件設(shè)于所述安裝槽上且所述導(dǎo)光件設(shè)于所述標(biāo)定件的出光側(cè)，所述導(dǎo)光件用于調(diào)整所述標(biāo)定件的標(biāo)定光束延伸路徑。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人合肥芯碁微電子裝備股份有限公司，其通訊地址為：230088 安徽省合肥市高新區(qū)長(zhǎng)寧大道789號(hào)1號(hào)樓；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。