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龍圖騰網獲悉北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利轉接裝置及半導體工藝設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118855793B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411170963.6，技術領域涉及：F15B15/14；該發明授權轉接裝置及半導體工藝設備是由徐剛;王銳廷;趙宏宇;王龍;高少飛;王延廣;馬宏帥;鄧曾紅設計研發完成，并于2024-08-23向國家知識產權局提交的專利申請。

本轉接裝置及半導體工藝設備在說明書摘要公布了：本申請公開一種轉接裝置及半導體工藝設備，所公開的轉接裝置用于將傳感器轉接至工藝位，所述轉接裝置包括缸體、活塞組件、隔離件、殼體和封堵部；其中：活塞組件的活塞滑動地設于缸體中，缸體包括本體部和堵頭，本體部為一端為開口端、另一端為封閉端的中空結構件，堵頭封堵于開口端；隔離件設于缸體與殼體之間，殼體具有過流腔以及與過流腔連通的流入孔；其中，流入孔用于與工藝位連通，過流腔用于與傳感器連通；活塞組件的活塞桿依次穿過堵頭和隔離件，而伸至過流腔中與封堵部相連，以用于帶動封堵部在第一位置與第二位置之間切換。上述方案能解決相關技術涉及的轉接裝置存在容易污染晶片的問題。

本發明授權轉接裝置及半導體工藝設備在權利要求書中公布了：1.一種轉接裝置，用于將傳感器轉接至工藝位，其特征在于，包括缸體11、活塞組件12、隔離件20、殼體30和封堵部40；其中： 所述活塞組件12的活塞121滑動地設于所述缸體11中，所述缸體11包括本體部111和堵頭112，所述本體部111為一端為開口端、另一端為封閉端的中空結構件，所述堵頭112封堵于所述開口端； 所述隔離件20設于所述缸體11與所述殼體30之間，所述殼體30具有過流腔31以及與所述過流腔31連通的流入孔32；其中，所述流入孔32用于與所述工藝位連通，所述過流腔31用于與所述傳感器連通； 所述活塞組件12的活塞桿122依次穿過所述堵頭112和所述隔離件20，而伸至所述過流腔31中與所述封堵部40相連，以用于帶動所述封堵部40在第一位置與第二位置之間切換；在所述封堵部40處于所述第一位置時，所述活塞桿122伸至使所述封堵部40封堵所述流入孔32的位置，所述活塞桿122上與所述堵頭112滑動配合的滑動配合部分1221位于所述過流腔31之外；在所述封堵部40處于所述第二位置時，所述活塞桿122回縮至能打開所述流入孔32的位置。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京北方華創微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區經濟技術開發區文昌大道8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。