上海睿昇半導體科技有限公司姚力軍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海睿昇半導體科技有限公司申請的專利一種真空腔用加熱器及半導體加工設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223261672U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422228389.7，技術領域涉及：H05B3/40；該實用新型一種真空腔用加熱器及半導體加工設備是由姚力軍;嚴薪;鮑偉江;昝小磊;占衛君設計研發完成，并于2024-09-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種真空腔用加熱器及半導體加工設備在說明書摘要公布了：本實用新型涉及半導體裝備領域，公開了一種真空腔用加熱器及半導體加工設備。其中真空腔用加熱器包括加熱絲和盤體。其中加熱絲的數量設置為至少兩個，盤體的數量設置為多個，多個盤體層疊設置，任意相鄰兩個盤體之間均設置有加熱絲，且多個該盤體由導熱材料制成。當使用該真空加熱器時，兩個加熱絲將被通入熱源對置于最上方盤體的待加熱產品進行加熱，使待加熱產品有較快的升溫速率和更好的熱穩定性，進而提高該真空用加熱器的使用效率，減少待加熱產品的報廢率。
本實用新型一種真空腔用加熱器及半導體加工設備在權利要求書中公布了：1.一種真空腔用加熱器，其特征在于，包括： 加熱絲1，所述加熱絲1的數量設置為至少兩個； 盤體2，所述盤體2由導熱材料制成； 所述盤體2的數量設置為多個，多個所述盤體2層疊設置，任意相鄰的兩個所述盤體2之間均設置有所述加熱絲1。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海睿昇半導體科技有限公司，其通訊地址為：201401 上海市奉賢區南橋鎮環城北路1288號2幢1樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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