均豪精密工業股份有限公司吳庭毅獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉均豪精密工業股份有限公司申請的專利晶圓匣獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223260564U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422430711.4，技術領域涉及：H01L21/673；該實用新型晶圓匣是由吳庭毅;張瑞宗;劉保正;許旬全;彭紹晟設計研發完成，并于2024-10-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓匣在說明書摘要公布了：一種晶圓匣包含架體、至少一對第一限位單元與至少一對第二限位單元。第一與第二限位單元設置于架體，每個第一限位單元包含連接架體的第一主體與多個連接第一主體的第一凸出部。每個第一凸出部朝向另一第一限位單元并具有相對第一主體傾斜的第一限位面，相鄰的兩第一限位面定義第一限位空間于其中。每個第二限位單元包含連接架體的第二主體與多個連接第二主體的第二凸出部。每個第二凸出部朝向另一第二限位單元并具有相對第二主體傾斜的第二限位面，相鄰的兩第二限位面定義第二限位空間于其中。第一與第二限位空間配置以至少部分容置晶圓。晶圓匣能有效優化晶圓浸泡于藥液的效果。
本實用新型晶圓匣在權利要求書中公布了：1.一種晶圓匣，其特征在于，包含： 一架體； 至少一對第一限位單元，設置于該架體并彼此相對，所述至少一對第一限位單元中每一者包含： 一第一主體，連接該架體；以及 多個第一凸出部，分別連接該第一主體并至少部分朝向所述至少一對第一限位單元中的另一者，所述多個第一凸出部中每一者具有至少一第一限位面，該第一限位面相對該第一主體傾斜，該第一限位面與所述多個第一凸出部中相鄰一者的該第一限位面共同定義一第一限位空間于其中，該第一限位空間配置以至少部分容置一晶圓；以及 至少一對第二限位單元，設置于該架體并彼此相對，所述至少一對第二限位單元中每一者包含： 一第二主體，連接該架體；以及 多個第二凸出部，分別連接該第二主體并至少部分朝向所述至少一對第二限位單元中的另一者，所述多個第二凸出部中每一者具有至少一第二限位面，該第二限位面相對該第二主體傾斜，該第二限位面與所述多個第二凸出部中相鄰一者的該第二限位面共同定義一第二限位空間于其中，該第二限位空間配置以至少部分容置該晶圓。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人均豪精密工業股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市科學工業園區創新一路5之1號4樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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