遼寧中藍光電科技有限公司孔旭東獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉遼寧中藍光電科技有限公司申請的專利一種基于活塞型靜電梳齒激勵的無框架式微機電振鏡獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223259968U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422457709.6,技術領域涉及:G02B26/08;該實用新型一種基于活塞型靜電梳齒激勵的無框架式微機電振鏡是由孔旭東;王忠嶺;夏風梁設計研發完成,并于2024-10-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種基于活塞型靜電梳齒激勵的無框架式微機電振鏡在說明書摘要公布了:本實用新型提供了一種基于活塞型靜電梳齒激勵的無框架式微機電振鏡,具有承載框,承載框上設有活動部,與活動部相對應位置設有固定部,所述固定部與所述承載框固定,承載框中間設置反射鏡,所述反射鏡與所述活動部通過梁耦合連接;所述活動部上設有第一激勵區,固定部上設有第二激勵區,第一激勵區與第二激勵區分別設有若干梳齒列,在所述第一激勵區與第二激勵區存在電勢差時形成活塞梳齒激勵,所述梁扭轉使反射鏡發生翻轉。由于本實用新型采用了活塞梳齒結構并設置S型折彎部,同時剔除框架結構,結構更加簡單,不僅增強了MEMS掃描鏡在實際應用中的沖擊和震動,還可以搭載大鏡面尺寸,解決了口徑偏小、有效面積較小等問題。
本實用新型一種基于活塞型靜電梳齒激勵的無框架式微機電振鏡在權利要求書中公布了:1.一種基于活塞型靜電梳齒激勵的無框架式微機電振鏡,其特征在于,具有承載框(1),承載框(1)上設有活動部(2),與活動部(2)相對應位置設有固定部(3),所述固定部(3)與所述承載框(1)固定,所述承載框(1)中間設置反射鏡(5),所述反射鏡(5)與所述活動部(2)通過梁(4)耦合連接; 所述活動部(2)上設有第一激勵區(9),所述固定部(3)上設有第二激勵區(11),所述第一激勵區(9)與所述第二激勵區(11)分別設有若干梳齒列,在所述第一激勵區(9)與所述第二激勵區(11)存在電勢差時所述固定部(3)會將所述活動部(2)吸向所述固定部(3),帶動所述梁(4)發生形變從而使反射鏡(5)翻轉。
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