一種晶圓生產(chǎn)用轉(zhuǎn)移設備
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專利號：2024111667243公告封卷
申請日：
2024-08-23
發(fā)布日期：2025-09-23
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專利摘要
本發(fā)明涉及晶圓生產(chǎn)技術領域，具體涉及一種晶圓生產(chǎn)用轉(zhuǎn)移設備，包括底座和轉(zhuǎn)移機構，轉(zhuǎn)移機構包括邊板和外導軌，邊板和外導軌均設置有兩個，兩個外導軌之間設置有限位機構，限位機構包括四個滑動組件和限位夾板，滑動組件包括圓形結構的滑塊、連接桿和活動塊，滑塊和連接桿均設置有兩個，兩個滑塊均滑動連接在外導軌和邊板之間，滑塊的一側(cè)與鏈條固定連接，連接桿與滑塊一一對應，連接桿固定連接在滑塊的一側(cè)，活動塊與連接桿固定連接，限位夾板設置有四個并分別固定安裝在同一限位機構內(nèi)的四個活動塊上。分發(fā)明通過驅(qū)動電機驅(qū)動鏈條轉(zhuǎn)動，進而通過滑塊使限位機構中的限位夾板帶動晶圓移動，提高晶圓在清洗時的位置的精確性。
交易流程
01
免費咨詢
聯(lián)系客服享一對一免費咨詢服務02
需求匹配
精準匹配需求，不成功不收費03
確定購買
達成協(xié)議后按照約定支付賬款04
官方備案
按協(xié)議約定辦理官方備案手續(xù)05
交易完成
雙方完成協(xié)議約定即交易完成
過戶資料
| 主體資格 | 買家 | 賣家 | 平臺提供 | 過戶后您將會獲得 |
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專利代理委托書 專利權轉(zhuǎn)讓協(xié)議 辦理文件副本請求書 |
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企業(yè)營業(yè)執(zhí)照 專利證書原件 |
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