離子注入跑片裝置及離子注入跑片方法
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專利號：2018103981271專利權維持
申請日：
2018-04-28
發布日期：2025-09-02
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{{getTimesDateStr(scope.row.addDate || "")}}
{{scope.row.showName || "--"}}
{{Math.abs(scope.row.price*1)==0?"詢價":"￥"+Math.abs(scope.row.price*1)+(scope.row.priceStartFlag!=null&&scope.row.priceStartFlag==1?"起":"")}}
{{scope.row.phone || "--"}}
{{scope.row.qq || "--"}}
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專利摘要
本發明公開了離子注入跑片裝置及離子注入跑片方法。該離子注入跑片裝置包括水平進出傳送區、垂直輸送緩沖區、單個水平傳送區及垂直輸送儲存區。離子注入跑片方法包括如下步驟：將硅片置于拖盤上隔板的下方，其中一排離子注入孔正對硅片的第一位置；將托盤運送至一真空腔中，在真空腔中運送托盤至第一離子處；將第一離子通過隔板的第一排離子注入孔注入至硅片的第一位置；隔板相對所述托盤移動位置，以使第二排離子注入孔正對硅片的第二位置；將第二離子通過隔板的第二排離子注入孔注入至硅片的第二位置；將托盤移出所述真空腔。本發明所述離子注入跑片裝置，離子注入方便、快速、成本低、制作的硅片質量好。
交易流程
01
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需求匹配
精準匹配需求，不成功不收費03
確定購買
達成協議后按照約定支付賬款04
官方備案
按協議約定辦理官方備案手續05
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雙方完成協議約定即交易完成
過戶資料
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企業營業執照 專利證書原件 |
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