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          南京信息工程大學吳紅艷老師一件發明專利完成成果轉化

          發表時間:2022年06月08日 來源:龍圖騰

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          龍圖騰網獲悉南京信息工程大學申請的專利一種金屬箔片表面金屬摻雜的氧化鋅復合電極薄膜及其制備方法成功實施成果轉化。

          龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2018-05-15發布的專利公告中獲悉:該專利的專利申請號/專利號為:2017112052570,技術領域屬于H01L31/0224(2006.01)I;該專利一種金屬箔片表面金屬摻雜的氧化鋅復合電極薄膜及其制備方法是由南京信息工程大學設計研發完成,并于2017-11-27向國家知識產權局提交的專利申請。

          本發明公開了一種金屬箔片表面金屬摻雜的氧化鋅復合電極薄膜。是在金屬箔片上利用雙層輝光等離子物理濺射沉積技術一步來實現金屬箔片/ZnO薄膜電極的制備。具體是將金屬箔片作為基片丙酮清洗,高壓氮氣烘干處理;高純低熔點金屬Zn靶作為ZnO的金屬元素濺射源,用丙酮進行清洗,同時通入氬氣和氧氣作為金屬氧化物的合成氣氛條件;將預處理好的基片和靶材樣品放入雙層輝光等離子濺射腔室內,同步實現基體金屬元素在氧化物薄膜中的摻雜而形成的氧化物復合薄膜。

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