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          南京信息工程大學張加宏老師一件發明專利完成成果轉化

          發表時間:2022年06月06日 來源:龍圖騰

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          龍圖騰網獲悉南京信息工程大學申請的專利一種巨壓阻雙諧振質量傳感器及其制作方法成功實施成果轉化。

          龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2016-07-13發布的專利公告中獲悉:該專利的專利申請號/專利號為:2016102137328,技術領域屬于G01G3/13(2006.01)I;該專利一種巨壓阻雙諧振質量傳感器及其制作方法是由南京信息工程大學設計研發完成,并于2016-04-07向國家知識產權局提交的專利申請。

          本發明公開了一種巨壓阻雙諧振質量傳感器及其制備方法,包括傳感器芯片和外部電路,其特征是,所述傳感器芯片包括兩個通過細納米桿相連的諧振式傳感器芯片和溫度補償裝置芯片,所述諧振式傳感器芯片包括諧振式傳感器的敏感結構、硅底層、絕緣二氧化硅層、硅頂層、鋁頂層、激勵電極、激勵電極引出端電極和檢測電極,所述硅底層、絕緣二氧化硅層、硅頂層從下至上依次設置,所述的鋁頂層與硅頂層處于同一層。本發明中的單晶硅納米諧振薄膜表面通過修飾工藝處理過,帶有殘余應力,比傳統硅壓阻式諧振膜的應變系數高約2?3個數量級。此外,為消除溫度對壓阻阻值變化的影響,在本發明中引入了溫度補償裝置,大大地提高了測量的分辨率與靈敏度。

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