買專利賣專利找龍圖騰,真高效! 查專利查商標用IPTOP,全免費!專利年費監控用IP管家,真方便! 龍圖騰網獲悉南京信息工程大學申請的專利一種巨壓阻雙諧振質量傳感器及其制作方法成功實施成果轉化。 龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2016-07-13發布的專利公告中獲悉:該專利的專利申請號/專利號為:2016102137328,技術領域屬于G01G3/13(2006.01)I;該專利一種巨壓阻雙諧振質量傳感器及其制作方法是由南京信息工程大學設計研發完成,并于2016-04-07向國家知識產權局提交的專利申請。 本發明公開了一種巨壓阻雙諧振質量傳感器及其制備方法,包括傳感器芯片和外部電路,其特征是,所述傳感器芯片包括兩個通過細納米桿相連的諧振式傳感器芯片和溫度補償裝置芯片,所述諧振式傳感器芯片包括諧振式傳感器的敏感結構、硅底層、絕緣二氧化硅層、硅頂層、鋁頂層、激勵電極、激勵電極引出端電極和檢測電極,所述硅底層、絕緣二氧化硅層、硅頂層從下至上依次設置,所述的鋁頂層與硅頂層處于同一層。本發明中的單晶硅納米諧振薄膜表面通過修飾工藝處理過,帶有殘余應力,比傳統硅壓阻式諧振膜的應變系數高約2?3個數量級。此外,為消除溫度對壓阻阻值變化的影響,在本發明中引入了溫度補償裝置,大大地提高了測量的分辨率與靈敏度。 龍圖騰網(www.www.hzsmkbearing.com.cn)是知識產權全產業鏈服務平臺,平臺圍繞知識產權代理、知識產權管理、商標查詢、商標轉讓交易、專利檢索、專利轉讓運營、科技成果轉化等,通過“互聯網+知識產權”的方式,整合資源與服務,為廣大知識產權代理機構、科技咨詢公司、律師事務所以及各類科技創新企業、科研院所、大專院校等,提供龍圖騰商標專利檢索分析平臺、龍圖騰知識產權管家、龍圖騰知識產權交易平臺等人工智能大數據云產品服務、知識產權服務、科技成果轉移轉化服務等。 如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,歡迎咨詢龍圖騰網官方客服,聯系電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。 |