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          浙江理工大學(xué)李培剛老師一件發(fā)明專利完成成果轉(zhuǎn)化

          發(fā)表時間:2022年05月31日 來源:龍圖騰

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          龍圖騰網(wǎng)獲悉浙江理工大學(xué)申請的專利一種基于Sm2O3/n-Si異質(zhì)結(jié)構(gòu)的紫外光電器件的制備方法成功實(shí)施成果轉(zhuǎn)化。

          龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2015-09-23發(fā)布的專利公告中獲悉:該專利的專利申請?zhí)?/span>/專利號為:2015102874315,技術(shù)領(lǐng)域?qū)儆贖01L31/18(2006.01)I;該專利一種基于Sm2O3/n-Si異質(zhì)結(jié)構(gòu)的紫外光電器件的制備方法是由浙江理工大學(xué)設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2015-05-30向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

          本發(fā)明涉及一種紫外光電器件的制備方法,具體是指一種基于Sm2O3/n-Si異質(zhì)結(jié)構(gòu)的紫外光電器件的制備方法。本發(fā)明是通過射頻磁控濺射技術(shù)在N型Si(100)襯底上沉積一層Sm2O3薄膜,然后利用掩膜版在襯底和薄膜上沉積一層約50納米厚的金(Au)膜作為電極使用。紫外光電器件的光電性能測試結(jié)果顯示該器件具有很好的光電響應(yīng)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:本發(fā)明制備的光電器件性能穩(wěn)定,反應(yīng)靈敏,暗電流小,具有好的潛在應(yīng)用;另外,該制備工藝具有可控性強(qiáng),操作簡單,普適性好等特點(diǎn),具有很大的應(yīng)用前景。

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