上海微電子裝備(集團)股份有限公司郭銀章獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利投影光刻物鏡及光刻機獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115542676B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110739496.4，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權投影光刻物鏡及光刻機是由郭銀章設計研發完成，并于2021-06-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本投影光刻物鏡及光刻機在說明書摘要公布了：本發明提供一種投影光刻物鏡及光刻機。其中，第一鏡組中的透鏡至少一個呈非球面，且非球面朝向物面設置，以實現縮短物鏡共軛距離，使物鏡結構更加緊湊。第五鏡組的第一負透鏡和第六鏡組的第一正透鏡鄰接設置，以形成了密接雙分離形式透鏡組，能夠實現對視場的色差矯正。第七鏡組的第二負透鏡和第八鏡組的第四正透鏡鄰接設置，以形成了密接雙分離形式透鏡組，進一步實現對視場的色差矯正，提高視場成像質量。第三鏡組和第七鏡組中的透鏡均至少一個呈非球面。因非球面相比于球面增加了優化的自由度，所以一片非球面原理上可以代替2?3片球面鏡片的像差矯正效果，在保障分辨率的前提下，實現減少鏡片數量，使得投影光刻物鏡結構更加緊湊，降低成本。
本發明授權投影光刻物鏡及光刻機在權利要求書中公布了：1.一種投影光刻物鏡，其特征在于，包括：沿光路依次設置的第一鏡組、第二鏡組、第三鏡組、第四鏡組、第五鏡組、第六鏡組、第七鏡組、第八鏡組、第九鏡組和第十鏡組；其中， 所述第一鏡組中的透鏡至少一個呈非球面，且所述非球面朝向物面設置；所述第五鏡組包括第一負透鏡，所述第六鏡組包括第一正透鏡，且所述第一負透鏡和所述第一正透鏡鄰接設置；所述第七鏡組包括第二負透鏡，所述第八鏡組包括第二正透鏡，且所述第二負透鏡和所述第二正透鏡鄰接設置；所述第三鏡組和所述第七鏡組中的透鏡均至少一個呈非球面；以及， 所述第一鏡組、所述第三鏡組、所述第五鏡組、所述第七鏡組以及所述第九鏡組中的透鏡均為負透鏡。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海微電子裝備(集團)股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區張東路1525號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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