湘潭大學郝國林獲國家專利權
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龍圖騰網(wǎng)獲悉湘潭大學申請的專利一種具有增強的非線性光學特性的大面積Te-MX2垂直異質結的制備方法獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予,授權公告號為:CN115652261B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202211275889.5,技術領域涉及:C23C14/18;該發(fā)明授權一種具有增強的非線性光學特性的大面積Te-MX2垂直異質結的制備方法是由郝國林;肖金彪;郝玉龍;高慧;賀力員設計研發(fā)完成,并于2022-10-18向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。
本一種具有增強的非線性光學特性的大面積Te-MX2垂直異質結的制備方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開一種具有增強的非線性光學特性的大面積Te?MX2垂直異質結納米結構的制備方法。采用兩步生長法,通過調節(jié)限域高度、生長時間以及MX2處理工藝,可以實現(xiàn)二維MX2表面生長的一維碲納米線尺寸、取向與疏密程度的有效調控。將碲粉末放在氧化鋁舟置于加熱溫區(qū)。然后用一片玻璃基底蓋在長有單層MX2的玻璃基底上形成限域空間,并將其置于加熱溫區(qū)下游。利用低壓氣相外延生長技術在單層二維MX2表面外延生長一維Te納米線,形成Te?MX2垂直異質結。Te?MX2垂直異質結展現(xiàn)出優(yōu)異的非線性光學吸收特性,飽和吸收特性大幅增加,調制深度提升至28.1%,在可飽和吸收體、光調制器領域有著廣闊的應用前景。
本發(fā)明授權一種具有增強的非線性光學特性的大面積Te-MX2垂直異質結的制備方法在權利要求書中公布了:1.一種具有增強的非線性光學特性的大面積Te-MX2垂直異質結的制備方法,其中,M為Mo或W,X為S或Se,其特征在于,包括如下步驟: (1)準備一片長有MX2的玻璃基底,把石墨墊塊放置在基底的兩側,將另一片干凈的玻璃片以“面對面”的形式蓋在長有MX2的玻璃基底上,形成一個微反應腔,通過控制石墨墊塊的高度調控反應腔的空間高度,然后將整個微反應腔放置于管式爐下游端距離中心加熱溫區(qū)20-24cm處; (2)將碲粉末放在氧化鋁舟中置于中心加熱溫區(qū); (3)向管式爐的反應腔內通入氬氣15-30min進行清洗; (4)清洗結束后,開啟真空泵,通入氬氣作為載氣,升高管式爐的溫度,使碲粉所在溫區(qū)的溫度加熱至280-300℃,設置生長時間為15-25分鐘,進行大面積Te-MX2垂直異質結納米結構的生長; (5)生長結束后,溫度自然降至室溫,關閉真空泵與氬氣,即得到大面積Te-MX2異質結納米結構; 步驟(1)中,石墨墊控制干凈的玻璃片與長有MX2的玻璃基底相距1-3mm; 步驟(1)中,以石墨片作為放置整個微反應腔的襯底,以調整微反應腔在管式爐中的位置; 所述長有MX2的玻璃基底為長有單層大面積MX2的玻璃基底,制備方法包括如下步驟: 1將金屬鉬箔放置在管式爐加熱區(qū)中心,升高溫度至470-490℃,在空氣氛圍中氧化得到氧化鉬箔;或將金屬鎢箔放置在管式爐加熱區(qū)中心,升高溫度至580-620℃,在空氣氛圍中氧化得到氧化鎢箔; 2將氧化鉬箔或氧化鎢箔蓋在玻璃基底上放在高溫管式爐的加熱中心,按照氣流由上游至下游的順序,依次放置裝有硫粉或硒粉的氧化鋁舟與生長基底,向高溫管式爐的反應腔內通入氬氣進行清洗; 3升高管式爐的溫度,使硫粉的溫度加熱至300~320℃或硒粉的溫度加熱至360~400℃、氧化鉬箔的溫度加熱至750℃或氧化鎢箔的溫度加熱至780-800℃,生長時間為10分鐘,生長結束后,溫度自然降至室溫,關閉氬氣,即得到長有單層大面積MX2的玻璃基底。
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