浙江大學陳芳獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浙江大學申請的專利一種用于離子濺射儀的可變角度內置樣品臺裝置獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223373214U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202423237109.5,技術領域涉及:C23C14/50;該實用新型一種用于離子濺射儀的可變角度內置樣品臺裝置是由陳芳;丁曉坤;裘雅漁;趙翌帆;莊錦;樓莉萍設計研發完成,并于2024-12-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于離子濺射儀的可變角度內置樣品臺裝置在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種用于離子濺射儀的可變角度內置樣品臺裝置,包括底座、球鉸機構及轉動桿,所述底座呈圓筒狀,所述球鉸機構設置在底座內,球鉸機構上固定有襯套管,所述轉動桿穿過襯套管并與襯套管滑配,底座的內壁上設有波浪環形滑槽,轉動桿的一端設有導向球頭,轉動桿位于導向球頭與襯套管之間部分上套有彈簧,所述彈簧兩端分別與導向球頭、襯套管相抵,導向球頭與波浪環形滑槽相適配,襯套管上固定有樣品臺。本實用新型能使樣品臺能進行旋轉和在一定角度范圍為發生傾斜即多角度旋轉,能夠實現對一定厚度的樣品上表面和側面進行均勻鍍膜,整體結構簡單,使用方便,成本低,不產生電場和磁場。
本實用新型一種用于離子濺射儀的可變角度內置樣品臺裝置在權利要求書中公布了:1.一種用于離子濺射儀的可變角度內置樣品臺裝置,其特征在于,包括底座1、球鉸機構及轉動桿2,所述底座呈圓筒狀,所述球鉸機構設置在底座內,球鉸機構上固定有襯套管3,所述轉動桿穿過襯套管并與襯套管滑配,底座的內壁上設有波浪環形滑槽4,轉動桿的一端設有導向球頭5,轉動桿位于導向球頭與襯套管之間部分上套有彈簧6,所述彈簧兩端分別與導向球頭、襯套管相抵,導向球頭與波浪環形滑槽相適配,襯套管上固定有樣品臺7。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人浙江大學,其通訊地址為:310027 浙江省杭州市西湖區浙大路38號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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