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龍圖騰網(wǎng)獲悉環(huán)誠智能裝備(成都)有限公司申請的專利一種用于真空腔室的對位機(jī)構(gòu)及晶圓對位系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120356861B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510837430.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)一種用于真空腔室的對位機(jī)構(gòu)及晶圓對位系統(tǒng)是由劉瑞;劉林;林鎮(zhèn)樟;解家劍設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-06-23向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種用于真空腔室的對位機(jī)構(gòu)及晶圓對位系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種用于真空腔室的對位機(jī)構(gòu)及晶圓對位系統(tǒng)，真空腔室內(nèi)設(shè)有晶圓，對位機(jī)構(gòu)包括定位件、動力組件、動力傳遞部件以及密封單元；定位件設(shè)于真空腔室內(nèi)部；動力組件設(shè)于真空腔室外部；動力傳遞部件用于將動力組件的動力傳遞至定位件，以使定位件做靠近或遠(yuǎn)離晶圓的往復(fù)運動；密封單元與真空腔室的外壁、動力組件相連并套設(shè)于動力傳遞部件的外部。本發(fā)明通過將動力組件外置于真空腔室，并采用動態(tài)密封的動力傳遞部件實現(xiàn)定位件的往復(fù)驅(qū)動，既避免了傳統(tǒng)內(nèi)置直線驅(qū)動器導(dǎo)致的真空污染和密封難題，又簡化了真空腔室內(nèi)部結(jié)構(gòu)，同時顯著提升了設(shè)備的維護(hù)便利性和長期運行可靠性，為高潔凈度要求的晶圓鍵合工藝提供了更優(yōu)的解決方案。

本發(fā)明授權(quán)一種用于真空腔室的對位機(jī)構(gòu)及晶圓對位系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于真空腔室的對位機(jī)構(gòu)，所述真空腔室內(nèi)設(shè)有晶圓，其特征在于，所述對位機(jī)構(gòu)包括： 定位件，設(shè)于所述真空腔室內(nèi)部，并位于所述晶圓外側(cè)；所述定位件包括連接部和接觸部； 所述連接部連接至動力傳遞部件；所述接觸部可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在所述連接部上，并用于與所述晶圓邊緣形成滾動接觸； 位于所述接觸部與所述動力傳遞部件之間的所述連接部上設(shè)有緩沖縫，所述緩沖縫自所述連接部的側(cè)壁朝所述連接部的內(nèi)部延伸； 動力組件，設(shè)于所述真空腔室外部； 動力傳遞部件；所述動力傳遞部件的兩端分別連接至所述定位件和所述動力組件；所述動力傳遞部件用于將所述動力組件的動力傳遞至所述定位件，以使所述定位件做靠近或遠(yuǎn)離所述晶圓的往復(fù)運動； 密封單元，所述密封單元與所述真空腔室的外壁、所述動力組件相連并套設(shè)于所述動力傳遞部件的外部，以使得所述動力傳遞部件在所述密封單元內(nèi)部密封傳動； 所述動力組件包括轉(zhuǎn)動臂，所述轉(zhuǎn)動臂鉸接設(shè)置于所述真空腔室外并形成鉸接點，所述轉(zhuǎn)動臂包括位于所述鉸接點兩側(cè)并可繞所述鉸接點轉(zhuǎn)動的從動部和主動部； 所述密封單元為焊接波紋管，所述焊接波紋管的一端密封連接至所述真空腔室外壁，所述焊接波紋管的另一端密封連接至所述轉(zhuǎn)動臂； 所述動力傳遞部件遠(yuǎn)離所述定位件的一端位于所述焊接波紋管內(nèi)部并連接至所述從動部； 所述對位機(jī)構(gòu)還包括彈性緩沖組件，所述彈性緩沖組件包括： 固定塊，固定設(shè)置； 移動件，穿過所述固定塊并與所述固定塊滑動配合； 第一彈性件，所述第一彈性件的一端連接至所述移動件，所述第一彈性件的另一端連接至所述動力傳遞部件或所述定位件。

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