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龍圖騰網(wǎng)獲悉布魯克斯自動化公司申請的專利裝載端口模塊獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113330547B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201980090640.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/673；該發(fā)明授權(quán)裝載端口模塊是由R·索諾加托夫;R·卡爾森;M·克羅拉克設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-11-26向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本裝載端口模塊在說明書摘要公布了：一種襯底裝載裝置包括：框架，其適于連接到襯底處理設(shè)備，該框架具有運(yùn)輸開口，襯底通過該運(yùn)輸開口被運(yùn)輸?shù)教幚碓O(shè)備；盒支撐件，其連接到框架以用于將至少一個襯底盒容器保持靠近運(yùn)輸開口，該支撐件被構(gòu)造成使得容器的密封的內(nèi)部氣氛在容器的預(yù)定的出入位置處從支撐件出入，并且該盒支撐件具有預(yù)定的連續(xù)穩(wěn)態(tài)壓差增壓室區(qū)域，該預(yù)定的連續(xù)穩(wěn)態(tài)壓差增壓室區(qū)域至少部分地由產(chǎn)生壓差的流體流的邊界確定，使得該預(yù)定的連續(xù)穩(wěn)態(tài)壓差增壓室區(qū)域限定連續(xù)穩(wěn)態(tài)流體流隔離屏障，該連續(xù)穩(wěn)態(tài)流體流隔離屏障在容器的預(yù)定的出入位置和支撐件的將其他預(yù)定區(qū)域與預(yù)定的出入位置隔離的另一個預(yù)定區(qū)段之間設(shè)置在支撐件上。

本發(fā)明授權(quán)裝載端口模塊在權(quán)利要求書中公布了：1.一種襯底裝載裝置，其包括： 框架，其適于將所述襯底裝載裝置連接到襯底處理設(shè)備，所述框架具有運(yùn)輸開口，襯底通過所述運(yùn)輸開口在所述襯底裝載裝置和處理設(shè)備之間運(yùn)輸； 盒支撐件，其連接到所述框架以用于將至少一個襯底盒容器保持靠近所述運(yùn)輸開口，所述盒支撐件被構(gòu)造成使得所述至少一個襯底盒容器的密封的內(nèi)部氣氛在所述至少一個襯底盒容器的預(yù)定的出入位置處從所述盒支撐件出入；并且 所述盒支撐件具有設(shè)置在所述盒支撐件上的預(yù)定的連續(xù)穩(wěn)態(tài)壓差增壓室區(qū)域，所述預(yù)定的連續(xù)穩(wěn)態(tài)壓差增壓室區(qū)域至少部分地由產(chǎn)生壓差的流體流的邊界確定，使得所述預(yù)定的連續(xù)穩(wěn)態(tài)壓差增壓室區(qū)域限定連續(xù)穩(wěn)態(tài)流體流隔離屏障，所述連續(xù)穩(wěn)態(tài)流體流隔離屏障在所述至少一個襯底盒容器的所述預(yù)定的出入位置和所述盒支撐件的將其他預(yù)定區(qū)段與所述預(yù)定的出入位置隔離的另一個預(yù)定區(qū)段之間設(shè)置在所述盒支撐件上。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人布魯克斯自動化公司，其通訊地址為：美國馬薩諸塞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。