株式會社東進世美肯金榮光獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社東進世美肯申請的專利不包含揮發酸的蝕刻液組合物獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113881938B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110745093.0,技術領域涉及:C23F1/30;該發明授權不包含揮發酸的蝕刻液組合物是由金榮光;姜東滸;金圣雄;車敬雄;裴正賢;申賢哲設計研發完成,并于2021-07-01向國家知識產權局提交的專利申請。
本不包含揮發酸的蝕刻液組合物在說明書摘要公布了:本發明涉及一種可以在形成陣列基板的金屬布線時使用的不包含乙酸的蝕刻液組合物。本發明可以提供一種包含磷酸40至65重量%、硝酸2至10重量%、非揮發性有機酸1至10重量%、銨鹽化合物以及氨基酸,所述銨鹽化合物的含量以及所述氨基酸的含量的之為2至10重量%的蝕刻液組合物。本發明的蝕刻液組合物可以在對銀Ag單一膜或包含銀Ag的多重膜進行蝕刻時對所述多重膜的殘渣進行控制并增加蝕刻液的使用時間,還可以降低蝕刻液的揮發性,從而在大面積陣列基板上形成均勻的布線。
本發明授權不包含揮發酸的蝕刻液組合物在權利要求書中公布了:1.一種蝕刻液組合物,其特征在于,包含: 磷酸40至65重量%; 硝酸2至10重量%; 非揮發性有機酸1至10重量%; 銨鹽化合物;以及, 氨基酸; 所述銨鹽化合物的含量以及所述氨基酸的含量之和為2至10重量%, 所述氨基酸的含量為1至9重量%, 所述氨基酸從由丙氨酸、甘氨酸、天冬酰胺、天冬氨酸、焦谷氨酸、馬尿酸、谷氨酸以及它們的混合物構成的組中選擇。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社東進世美肯,其通訊地址為:韓國仁川廣域市;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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