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龍圖騰網(wǎng)獲悉意法半導(dǎo)體股份有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利具有通過(guò)繞兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的壓電致動(dòng)傾斜的結(jié)構(gòu)的微機(jī)電設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114314497B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202111152439.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B81B7/02；該發(fā)明授權(quán)具有通過(guò)繞兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的壓電致動(dòng)傾斜的結(jié)構(gòu)的微機(jī)電設(shè)備是由N·博尼;R·卡爾米納蒂;M·默利設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-09-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本具有通過(guò)繞兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的壓電致動(dòng)傾斜的結(jié)構(gòu)的微機(jī)電設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本公開(kāi)涉及具有可通過(guò)圍繞兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的壓電致動(dòng)傾斜的結(jié)構(gòu)的微機(jī)電設(shè)備。例如，一種微機(jī)電設(shè)備，包括：固定結(jié)構(gòu)，具有限定腔體的框架；可傾斜結(jié)構(gòu)，彈性地懸置于腔體上方，并且在水平面中具有主延伸部；壓電驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)結(jié)構(gòu)，可被偏置以使可傾斜結(jié)構(gòu)圍繞第一和第二旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行期望旋轉(zhuǎn)；以及支撐結(jié)構(gòu)，與固定結(jié)構(gòu)集成，并且從框架延伸到腔體中。杠桿元件通過(guò)彈性懸置元件在第一端處彈性地耦合到可傾斜結(jié)構(gòu)，并且通過(guò)限定杠桿旋轉(zhuǎn)軸的彈性連接元件在第二端處耦合到支撐結(jié)構(gòu)。杠桿元件被彈性地耦合到致動(dòng)結(jié)構(gòu)，使得它們的偏置引起可傾斜結(jié)構(gòu)圍繞第一和第二旋轉(zhuǎn)軸的期望旋轉(zhuǎn)。

本發(fā)明授權(quán)具有通過(guò)繞兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的壓電致動(dòng)傾斜的結(jié)構(gòu)的微機(jī)電設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種微機(jī)電設(shè)備，包括： 固定結(jié)構(gòu)，具有限定腔體的框架； 可傾斜結(jié)構(gòu)，彈性地懸置于所述腔體上方，并且在水平面中具有主延伸部，所述水平面由第一水平軸和與所述第一水平軸正交的第二水平軸定義； 壓電驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)結(jié)構(gòu)，被配置為偏置以使所述可傾斜結(jié)構(gòu)在所述水平面中圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行期望旋轉(zhuǎn)； 支撐結(jié)構(gòu)，與所述固定結(jié)構(gòu)集成，并且從所述框架延伸到所述腔體中；以及 杠桿元件，通過(guò)相應(yīng)的彈性懸置元件在第一端處彈性地耦合到所述可傾斜結(jié)構(gòu)，并且通過(guò)限定杠桿旋轉(zhuǎn)軸的彈性連接元件在第二端處耦合到所述支撐結(jié)構(gòu)； 其中所述杠桿元件被彈性地耦合到所述壓電驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)結(jié)構(gòu)，使得所述壓電驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)結(jié)構(gòu)的偏置由于所述杠桿元件圍繞所述杠桿旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)而引起所述可傾斜結(jié)構(gòu)圍繞所述第一旋轉(zhuǎn)軸和所述第二旋轉(zhuǎn)軸的所述期望旋轉(zhuǎn)，其中所述第一旋轉(zhuǎn)軸和所述第二旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)于所述第一水平軸和所述第二水平軸傾斜45°。

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