深圳市聯得自動化裝備股份有限公司鄭嘉瑞獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市聯得自動化裝備股份有限公司申請的專利鍵合頭、芯片鍵合機和鍵合方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114709143B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210332496.7，技術領域涉及：H01L21/60；該發明授權鍵合頭、芯片鍵合機和鍵合方法是由鄭嘉瑞;胡金;王明軍;張浩;尹祖金;周寬林;李虎;耿小猛;李昌洪設計研發完成，并于2022-03-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本鍵合頭、芯片鍵合機和鍵合方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種鍵合頭、芯片鍵合機和鍵合方法，所述鍵合頭包括：拾取組件、多個柔性體及多個控制件，所述拾取組件用于拾取芯片，所述柔性體包括第一連接端和第二連接端，多個所述柔性體的所述第一連接端均與所述拾取組件連接，多個所述柔性體的所述第二連接端分別對應地與多個所述控制件連接，所述控制件能夠控制所述第一連接端與所述第二連接端之間的距離。上述鍵合頭能夠自適應地調平芯片與基板，提高芯片與基板鍵合時的精度。芯片鍵合機包括上述鍵合頭，能夠提高芯片與基板鍵合時的精度。鍵合方法應用于上述芯片鍵合機，能夠提高芯片與基板鍵合時的精度。
本發明授權鍵合頭、芯片鍵合機和鍵合方法在權利要求書中公布了：1.一種鍵合頭，其特征在于，所述鍵合頭包括：拾取組件、多個柔性體及多個控制件，所述拾取組件用于拾取芯片，所述柔性體包括第一連接端和第二連接端，多個所述柔性體的所述第一連接端均與所述拾取組件連接，多個所述柔性體的所述第二連接端分別對應地與多個所述控制件連接，所述控制件能夠控制所述第一連接端與所述第二連接端之間的距離，所述控制件與所述柔性體的數量相同，所述控制件一一對應地與所述第二連接端連接； 其中，所述鍵合頭還包括多個讀數頭、與所有所述第一連接端連接的第一承載板，以及與所有所述第二連接端連接的第二承載板，所述拾取組件設于所述第一承載板上遠離所述第一連接端的一側，所述控制件通過與所述第二承載板上開設的配合孔連接至所述第二連接端，用于控制所述第一承載板與所述第二承載板之間的距離，所有所述讀數頭均設于所述第二承載板上，所述讀數頭的數量與所述控制件的數量相同，多個所述讀數頭一一對應地設于多個所述控制件與所述第二承載板的連接處。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市聯得自動化裝備股份有限公司，其通訊地址為：518100 廣東省深圳市龍華區大浪街道大浪社區同富邨工業園A區99棟1-2層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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