中國科學院微電子研究所王然獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院微電子研究所申請的專利一種超表面器件的可調諧測量方法及測量系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115356266B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211028803.9,技術領域涉及:G01N21/01;該發明授權一種超表面器件的可調諧測量方法及測量系統是由王然;岳嵩;曲世田;趙泓達;薛美;張紫辰設計研發完成,并于2022-08-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種超表面器件的可調諧測量方法及測量系統在說明書摘要公布了:本發明提供了一種超表面器件的可調諧測量方法及測量系統,該超表面器件的可調諧測量方法包括:將待測的超表面器件粘在玻璃片上,以在超表面與玻璃片之間形成微米腔;將玻璃片和待測的超表面器件呈水平放置;微米腔利用毛細現象吸入折射率敏感流體;測量光束透過玻璃片聚焦在超表面的同時,改變吸入微米腔內的折射率敏感流體的折射率,并收集從超表面反射出的光束,形成待測的超表面器件的反射光譜。通過改變超表面上方的介電環境,從而能夠獲得較大的折射率調制范圍。將玻璃片和待測的超表面器件水平放置,提升超表面器件調諧的均勻性和調諧效果。
本發明授權一種超表面器件的可調諧測量方法及測量系統在權利要求書中公布了:1.一種超表面器件的可調諧測量方法,其特征在于,包括: 將待測的超表面器件粘在玻璃片上,以在所述超表面與所述玻璃片之間形成微米腔; 將所述玻璃片和所述待測的超表面器件呈水平放置; 所述微米腔利用毛細現象吸入折射率敏感流體; 測量光束透過所述玻璃片聚焦在所述超表面的同時,改變吸入所述微米腔內的折射率敏感流體的折射率,并收集從所述超表面反射出的光束,形成所述待測的超表面器件的反射光譜; 所述折射率敏感流體為折射率-溫度敏感液體; 所述改變吸入所述微米腔內的折射率敏感流體的折射率包括:發出泵浦光束,所述泵浦光束直接或間接透過所述玻璃片聚焦在所述超表面與所述玻璃片之間的微米腔,以加熱吸入所述微米腔內的所述折射率-溫度敏感液體的溫度,使吸入所述微米腔內的所述折射率-溫度敏感液體的折射率改變。
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