買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉西北工業大學申請的專利一種基于超表面加載的太赫茲光熱探測器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116519625B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211695724.3，技術領域涉及：G01N21/3581；該發明授權一種基于超表面加載的太赫茲光熱探測器是由朱海亮;王開;牟進超;劉甘雨;王庚辰;謝勝琳;周雨欣;狄玉潔設計研發完成，并于2022-12-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于超表面加載的太赫茲光熱探測器在說明書摘要公布了：本發明一種基于超表面加載的太赫茲光熱探測器，屬于太赫茲探測器領域；包括耦合模塊、讀出模塊和襯底模塊，所述耦合模塊用于吸收太赫茲輻射，并產生溫度變化；所述讀出模塊包括熱敏薄膜、電路結構、支撐懸臂、觸點；其中熱敏薄膜貼敷于耦合模塊的背面，并通過電路結構與觸點連接，通過觸點對熱敏薄膜的阻值進行讀出；所述支撐懸臂用于懸置耦合模塊、部分電路結構、熱敏薄膜，與襯底模塊分離隔熱。本發明使用超表面吸波結構作為太赫茲探測器的耦合模塊，提高探測器耦合效率及響應度，并利用熱敏薄膜，實現室溫下高靈敏度實時探測，為太赫茲焦平面陣列成像系統提供技術支撐。

本發明授權一種基于超表面加載的太赫茲光熱探測器在權利要求書中公布了：1.一種基于超表面加載的太赫茲光熱探測器，其特征在于：包括耦合模塊、讀出模塊和襯底模塊，所述耦合模塊用于吸收太赫茲輻射，并產生溫度變化； 所述讀出模塊包括熱敏薄膜、電路結構、支撐懸臂、觸點；其中熱敏薄膜貼敷于耦合模塊的背面，并通過電路結構與觸點連接，通過觸點對熱敏薄膜的阻值進行讀出；所述支撐懸臂用于懸置耦合模塊、部分電路結構、熱敏薄膜，與襯底模塊分離隔熱； 所述耦合模塊為復合型超表面吸波結構，位于整個探測器的頂部，直接受到太赫茲波照射；所述復合型超表面吸波結構從上到下依次為金屬頂層、介質層、金屬背板，其中金屬頂層是由兩種不同尺寸、不同材質金屬的十字貼片進行周期化排列得到陣列結構； 所述支撐懸臂的材質為氮化硅，包括絕緣層、懸臂和墊塊；所述絕緣層為方形平板，其上表面放置耦合模塊，下表面貼附有熱敏薄膜；所述懸臂為L型平板，兩個懸臂水平設置于絕緣層的相對兩側，其短臂端頭分別與絕緣層的相對兩側對角位置的邊緣連接，長臂端頭分別與兩個墊塊的頂端連接；所述墊塊置于襯底模塊上； 所述電路結構為金屬材質，包括從上到下依次連接的連接層、連接塊、貼片和圓柱； 所述連接層為U型平板，兩個連接層設置于熱敏薄膜的相對兩側，U型平板的一側臂與熱敏薄膜連接，另一側臂端頭連接于連接塊的頂端；且連接層貼緊于絕緣層和懸臂的下表面，其另一側臂結構與懸臂結構一致； 兩個所述連接塊分別位于兩個墊塊的相對側； 兩個所述貼片分別位于兩個墊塊與襯底模塊之間； 兩個所述圓柱頂端分別與兩個貼片連接，底端均貫穿襯底模塊與觸點連接； 所述熱敏薄膜為氧化釩材質的方形板。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人西北工業大學，其通訊地址為：710072 陜西省西安市友誼西路；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。