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龍圖騰網獲悉魯米星高科技(南通)有限公司申請的專利一種低膨脹微晶玻璃及其制備方法及應用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119859023B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510171393.0，技術領域涉及：C03C10/16；該發明授權一種低膨脹微晶玻璃及其制備方法及應用是由陳玉棟;李開月;張芬香;張嫚設計研發完成，并于2025-02-17向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種低膨脹微晶玻璃及其制備方法及應用在說明書摘要公布了：本發明公開了一種低膨脹微晶玻璃及其制備方法及應用，該低膨脹微晶玻璃包括以下重量百分含量的組分：56?67％SiO2，18?27％Al2O3，3.1?7.0％Li2O，0.1?0.5％MgO，0.1?0.9％ZnO，1.0?2.9％P2O5，1.0?2.9％TiO2，1.0?2.9％ZrO2，0.5?4％Gd2O3，0.6?1.5％SnO2，0.1?0.4％CaF2。本發明所制備的低膨脹微晶玻璃具有低熱膨脹系數、良好的可見光透過率等優異的性能，該方法制備的低膨脹微晶玻璃可應用在極紫外光刻領域。

本發明授權一種低膨脹微晶玻璃及其制備方法及應用在權利要求書中公布了：1.一種低膨脹微晶玻璃的制備方法，其特征在于，包括以下步驟： 1原料準備：按照化學組成和原料要求稱取各原料，將稱取的原料加入總重5％的純凈水混合均勻，得到混合原料； 2熔制成型：將混合原料放入玻璃熔化窯爐中，在1600℃的高溫下熔煉8小時，使原料充分熔化并混合均勻，形成均勻的玻璃液；所述玻璃熔制過程中，采用攪拌裝置對玻璃液進行攪拌，攪拌速度為30轉分鐘，使玻璃液中的氣泡和雜質充分排出； 3澄清均化：將攪拌均勻后的玻璃液流經鉑金通道進行澄清和均化，得到澄清的玻璃液； 4坯體成型：將澄清后的玻璃液澆鑄在預熱好的耐熱鋼模具中成型，制成所需形狀的玻璃坯體； 5退火處理：將玻璃坯體放入退火爐中，以2℃分鐘的速率升溫至580℃，保溫3小時，然后以1.0℃小時的速率降溫至300℃以下，取出冷卻至室溫； 6核化和晶化：然后將玻璃坯體放置在高精密退火爐中，以2℃小時的升溫速率將樣品從室溫加熱至670℃，保溫4小時進行核化，然后繼續升溫至780℃保溫4小時進行晶化，所述核化和晶化過程是在還原氣氛中進行，待晶化處理后以0.3℃min的降溫速率降至室溫，經加工處理即得到低膨脹微晶玻璃； 所述還原氣氛采用在樣品旁邊放置樣品重量3-5％的碳粉的方式獲得； 所述低膨脹微晶玻璃受控晶化后，晶粒尺寸在30-60nm，5mm厚的低膨脹微晶玻璃的透過率大于85％； 所述低膨脹微晶玻璃，由下列氧化物按照質量百分比制備而成：

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