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龍圖騰網(wǎng)獲悉嘉興微物科學(xué)儀器有限公司申請的專利基于離軸拋物面反射鏡的雙向耦合光學(xué)近場對準系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120213817B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510546828.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N21/01；該發(fā)明授權(quán)基于離軸拋物面反射鏡的雙向耦合光學(xué)近場對準系統(tǒng)是由孫琳;王文杰設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-04-28向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本基于離軸拋物面反射鏡的雙向耦合光學(xué)近場對準系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了基于離軸拋物面反射鏡的雙向耦合光學(xué)近場對準系統(tǒng)，包括正向光路、反向光路和耦合反射鏡對；所述正向光路包括光源模塊、干涉儀模塊、OAP及調(diào)整機構(gòu)模塊、探針及樣品臺模塊；所述反向光路在所述正向光路的基礎(chǔ)上，將樣品切換為點光源，點光源反向發(fā)射激光，激光經(jīng)由OAP反射后，經(jīng)由新加入的剪切干涉儀分成兩路。本發(fā)明公開的基于離軸拋物面反射鏡的雙向耦合光學(xué)近場對準系統(tǒng)，采用基于標準OAP的雙向耦合光學(xué)近場對準方法，可以降低近場耦合對準難度、提升近場耦合效率，還可以依據(jù)定量、可視化判據(jù)實現(xiàn)自動化近場耦合對準，在規(guī)模化及工業(yè)化等應(yīng)用中具有廣泛的商業(yè)前景。

本發(fā)明授權(quán)基于離軸拋物面反射鏡的雙向耦合光學(xué)近場對準系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基于離軸拋物面反射鏡的雙向耦合光學(xué)近場對準系統(tǒng)，其特征在于，包括正向光路、反向光路和耦合反射鏡對，其中： 所述正向光路包括光源模塊、干涉儀模塊、OAP及調(diào)整機構(gòu)模塊、探針及樣品臺模塊，其中： 所述光源模塊包括入射激光、第二引導(dǎo)激光和第二分束鏡，所述入射激光和所述第二引導(dǎo)激光均射向所述第二分束鏡； 所述干涉儀模塊包括第一分束鏡、探測器，以及由反射鏡和一維位移臺構(gòu)成的參考路反射鏡； 所述OAP及調(diào)整機構(gòu)模塊包括OAP和三維位移臺，所述OAP固定于所述三維位移臺； 所述探針及樣品臺模塊包括探針、樣品臺和樣品，所述樣品固定于樣品臺的上方并且所述探針置于所述樣品的上方； 所述反向光路在所述正向光路的基礎(chǔ)上，將樣品切換為點光源，點光源反向發(fā)射激光，激光經(jīng)由OAP反射后，經(jīng)由新加入的剪切干涉儀分成兩路，一路用于干涉成像，以及用于判斷反向發(fā)射激光的準直或平行度，另一路經(jīng)由第一分束鏡進行反向傳播； 所述耦合反射鏡對包括第一耦合反射鏡和第二耦合反射鏡，所述第一耦合反射鏡和所述第二耦合反射鏡位于反向光路的剪切干涉儀與所述OAP之間，用于調(diào)整反向光路中的光軸方向，進而實現(xiàn)雙向光路中的兩個光軸對準。

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