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龍圖騰網獲悉浙江斯凱沃微電子有限公司申請的專利一種金剛石拋光研磨在線檢測系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120195178B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510662744.8，技術領域涉及：G01N21/88；該發明授權一種金剛石拋光研磨在線檢測系統是由何波;楊陽;凌觀爽設計研發完成，并于2025-05-22向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種金剛石拋光研磨在線檢測系統在說明書摘要公布了：本發明涉及固體分析領域，具體為一種金剛石拋光研磨在線檢測系統，包括：首先，同步獲取待檢測金剛石表面的光學傳感數據及熱學傳感數據；隨后，對采集的傳感數據進行處理，以檢測并識別其表面的多種物理特性，包括表面缺陷狀態、熱致異常分布和可自校準的表面粗糙度，并追蹤相關特性的演化趨勢，從而生成初步的多維度特性分析結果；最終，綜合各項分析結果，生成全面的金剛石缺陷表面物理特性在線評估報告。本發明主要解決了傳統檢測手段難以實時和準確地全面評估其表面多維度物理特性，以及快速響應表面狀態變化的問題，旨在通過自動化在線分析，全面評估金剛石表面質量，為保障最終產品品質和優化研磨工藝提供依據。

本發明授權一種金剛石拋光研磨在線檢測系統在權利要求書中公布了：1.一種金剛石拋光研磨在線檢測系統，其特征在于，包括： 缺陷數據采集單元，用于同步獲取金剛石表面的光學傳感數據和熱傳感數據，并進行預處理輸出包含表面物理特性信息的光學特征化數據； 缺陷特性分析單元，用于基于光學特征化數據，通過融合數據驅動模型與視覺檢測模型檢測金剛石表面的缺陷，輸出表面缺陷信息，并結合熱傳感數據檢測熱致異常，輸出熱致異常信息；基于光學特征化數據計算金剛石表面的表面粗糙度，并通過與外部基準數據進行比對，表面粗糙度計算的自校準，輸出表面粗糙度信息，輸出表面粗糙度信息的過程包括：基于光學特征化數據，應用快速傅里葉變換處理，分析低頻近似分量與高頻細節分量的頻譜能量分布；并依據頻譜能量分布與表面粗糙度之間的預定估算模型，估算表面粗糙度以及量化紋理特征參數，得到初步的表面粗糙度信息；通過校準數據接口，定期接收針對同一樣品區域的基準表面粗糙度參考值；并應用自適應校準算法，用于通過比對表面粗糙度與基準表面粗糙度參考值，計算得到偏差量；基于偏差量，調整預定估算模型的內部參數，并重新進行表面粗糙度的計算，輸出校準后的表面粗糙度信息；以及將表面缺陷信息與歷史缺陷數據庫進行比對，輸出缺陷演化趨勢信息；輸出所述缺陷演化趨勢信息的過程包括：綜合考慮缺陷空間位置的鄰近度、潛在運動軌跡預測以及對應的加工階段時間戳時空屬性，同時匹配缺陷的類型、尺寸、形狀因子多維特征，以識別是否屬于歷史數據庫中同一缺陷的演化體，進而建立追蹤關系并獲得關聯缺陷編號； 缺陷信息綜合單元，用于基于表面缺陷信息、熱致異常信息、表面粗糙度信息及缺陷演化趨勢信息，利用規則引擎進行反饋決策，生成缺陷表面物理特性報告，并通過工業通信接口輸出至控制器。

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