松山湖材料實(shí)驗(yàn)室陳偉獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉松山湖材料實(shí)驗(yàn)室申請(qǐng)的專利不含氮的晶硅太陽(yáng)能電池片拋光方法及其拋光液獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN114267582B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202010974842.2,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/306;該發(fā)明授權(quán)不含氮的晶硅太陽(yáng)能電池片拋光方法及其拋光液是由陳偉;劉堯平;肖川;張小虎;王燕;杜小龍?jiān)O(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2020-09-16向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本不含氮的晶硅太陽(yáng)能電池片拋光方法及其拋光液在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種不含氮的晶硅太陽(yáng)能電池片拋光方法及其拋光液,拋光液包括氟離子源、含氯的離子源、氧化劑和去離子水。將擴(kuò)散后的SE單晶硅片放置于所述拋光液中,在溫度8℃~40℃下刻蝕30s~240s,對(duì)所述SE單晶硅片的絨面進(jìn)行刻蝕拋光處理,使得金字塔形貌結(jié)構(gòu)上部分被去除,留下金字塔塔基,本發(fā)明提供的拋光方法相比于堿拋工藝,工藝簡(jiǎn)單穩(wěn)定,與目前的產(chǎn)線刻蝕工藝兼容,無需新增拋光設(shè)備,刻蝕、拋光和圓滑修飾效果好,能夠圓滑金字塔頂尖和底部以及鈍化四棱臺(tái)平面,反射率可控,而且所采用的拋光液配方合理,不含氮,廢液處理成本低,對(duì)環(huán)保壓力小,原料化學(xué)藥液成本低,易于獲得,降低生產(chǎn)成本的同時(shí)也減少了對(duì)環(huán)境的污染。
本發(fā)明授權(quán)不含氮的晶硅太陽(yáng)能電池片拋光方法及其拋光液在權(quán)利要求書中公布了:1.一種不含氮的晶硅太陽(yáng)能電池片拋光方法,其特征在于,其包括以下步驟: (1)預(yù)備擴(kuò)散后的SE單晶硅片,該SE單晶硅片上具有布滿有金字塔形貌結(jié)構(gòu)的絨面,金字塔形貌結(jié)構(gòu)的底邊長(zhǎng)1~5微米,高度為0.7~3.5微米; (2)配置拋光液:依次將氟離子源、含氯的離子源、氧化劑和去離子水混合攪拌均勻,獲得拋光液;其中所述氟離子源的濃度為0.1molL~8molL,所述含氯的離子源的濃度為0.01molL~13molL,所述氧化劑的濃度為0.01molL~3molL;在拋光液中添加有添加劑,所述拋光液與添加劑的質(zhì)量比為100:0.2~5;所述添加劑由以下質(zhì)量分?jǐn)?shù)比組分組成:0.5~5質(zhì)量份十二烷基硫酸鈉、0.2~2質(zhì)量份硅酸鈉、0.5~2質(zhì)量份芐基三甲基氯化銨、1~3質(zhì)量份檸檬酸鈉、100質(zhì)量份水; (3)將擴(kuò)散后的SE單晶硅片放置于所述拋光液中,在溫度8℃~40℃下刻蝕30s~240s,對(duì)所述SE單晶硅片的絨面進(jìn)行刻蝕拋光處理,使得金字塔形貌結(jié)構(gòu)上部分被去除,留下金字塔塔基,金字塔塔基的外形輪廓為四邊形,邊長(zhǎng)1~5微米,高度0.1~1微米。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人松山湖材料實(shí)驗(yàn)室,其通訊地址為:523000 廣東省東莞市松山湖大學(xué)創(chuàng)新城A1棟;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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