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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會社申請的專利監(jiān)視系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN112786434B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202011180793.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/00；該發(fā)明授權(quán)監(jiān)視系統(tǒng)是由金子翔太;大野繁實;相良典秀設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-10-29向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本監(jiān)視系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供監(jiān)視用殼體將基片處理裝置密閉、將上述密閉的空間用規(guī)定的氣體氣氛充滿的密閉裝置的監(jiān)視系統(tǒng)，其包括：將上述殼體與上述基片處理裝置之間的空間中的、人能夠進入的區(qū)域作為檢測區(qū)域的激光傳感器；和控制裝置，其基于上述激光傳感器的檢測結(jié)果對上述基片處理裝置或上述密閉裝置輸出控制信號，或者輸出基于上述檢測結(jié)果的通知信號。本發(fā)明用殼體將基片處理裝置密閉，來提高用規(guī)定的氣體氣氛充滿密閉的空間的密閉裝置的安全性。

本發(fā)明授權(quán)監(jiān)視系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于： 所述監(jiān)視系統(tǒng)是監(jiān)視用殼體將基片處理裝置密閉、將所述密閉的空間用規(guī)定的氣體氣氛充滿的密閉裝置的監(jiān)視系統(tǒng)，所述殼體具有覆蓋所述基片處理裝置的上表面的上表面部、以及包圍四側(cè)面的正面部、第一側(cè)面部、背面部和第二側(cè)面部，所述監(jiān)視系統(tǒng)包括： 將所述殼體與所述基片處理裝置之間的空間中的、人能夠進入的區(qū)域作為檢測區(qū)域的第一激光傳感器和第二激光傳感器；和 控制裝置，其基于所述激光傳感器的檢測結(jié)果對所述基片處理裝置或所述密閉裝置輸出控制信號，或者輸出基于所述檢測結(jié)果的通知信號， 所述第一激光傳感器和所述第二激光傳感器以從底面起100～300mm的高度配置在所述殼體的俯視時位于對角線上的角部， 所述第一激光傳感器構(gòu)成為以將所述正面部和所述第一側(cè)面部之間的區(qū)域作為所述檢測范圍的旋轉(zhuǎn)角度照射激光束， 所述第二激光傳感器構(gòu)成為以將所述背面部和所述第二側(cè)面部之間的區(qū)域作為所述檢測范圍的旋轉(zhuǎn)角度照射激光束。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。