中芯集成電路(寧波)有限公司陳達獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中芯集成電路(寧波)有限公司申請的專利傳感器封裝結構及方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114436203B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011210950.9,技術領域涉及:B81B7/00;該發明授權傳感器封裝結構及方法是由陳達;劉孟彬設計研發完成,并于2020-11-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本傳感器封裝結構及方法在說明書摘要公布了:本發明涉及一種傳感器封裝結構及方法,其中,傳感器封裝結構包括:CMOS電路基板,包括CMOS電路及第一電性連接端;檢測結構,包括功能單元及電性引出端;第一圍堰,位于CMOS電路和檢測結構之間,CMOS電路、第一圍堰和檢測結構圍成第一空腔,第一空腔至少包圍部分功能單元;電連接結構,設置于CMOS電路的第一圍堰暴露的區域,且將電性引出端與第一電性連接端相連。本發明通過將CMOS電路與檢測結構鍵合,以實現集成封裝,以大大縮減封裝體積,提高集成度;另外,第一圍堰和電連接結構分開設置,電連接結構不必依賴第一圍堰形成,在工藝和時間上都比較靈活,降低了CMOS電路在形成空腔和電連接工藝條件的限制,擴大了工藝窗口,并縮短了工藝制程時間。
本發明授權傳感器封裝結構及方法在權利要求書中公布了:1.一種傳感器封裝結構,其特征在于,包括: CMOS電路基板,包括CMOS電路及第一電性連接端; 檢測結構,包括功能單元及電性引出端; 第一圍堰,位于CMOS電路和檢測結構之間,所述CMOS電路、所述第一圍堰和所述檢測結構圍成第一空腔,所述第一空腔至少包圍部分所述功能單元; 電連接結構,設置于所述CMOS電路的所述第一圍堰暴露的區域,且將所述電性引出端與所述第一電性連接端相連; 檢測結構還包括襯底,所述功能單元設置于所述襯底的第一表面,所述電性引出端位于所述襯底遠離所述功能單元的第二表面,所述電性引出端通過互連結構與所述功能單元電連,所述第一圍堰位于所述襯底的第二表面。
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