塔斯米特株式會社岡本陽介獲國家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)獲悉塔斯米特株式會社申請的專利圖案邊緣檢測方法、圖案邊緣檢測裝置、記錄有用于讓計算機執(zhí)行圖案邊緣檢測的程序的記錄介質(zhì)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114945801B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080092004.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B15/04；該發(fā)明授權(quán)圖案邊緣檢測方法、圖案邊緣檢測裝置、記錄有用于讓計算機執(zhí)行圖案邊緣檢測的程序的記錄介質(zhì)是由岡本陽介設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-12-10向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本圖案邊緣檢測方法、圖案邊緣檢測裝置、記錄有用于讓計算機執(zhí)行圖案邊緣檢測的程序的記錄介質(zhì)在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及從由掃描電子顯微鏡生成的圖像中檢測與半導(dǎo)體制造有關(guān)的在晶圓或掩膜等工件上形成的圖案的邊緣輪廓線的方法。圖案邊緣檢測方法中，生成在工件上形成的目標(biāo)圖案的對象圖像，生成表示對象圖像的各像素的多個特征量的特征向量，將特征向量輸入至通過機器學(xué)習(xí)構(gòu)建出的模型，從模型輸出表示具有特征向量的像素為邊緣的像素還是非邊緣的像素的判定結(jié)果，將得到了表示邊緣的像素的判定結(jié)果的具有特征向量的多個像素以線相連來生成假想邊緣。

本發(fā)明授權(quán)圖案邊緣檢測方法、圖案邊緣檢測裝置、記錄有用于讓計算機執(zhí)行圖案邊緣檢測的程序的記錄介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種圖案邊緣檢測方法，其特征在于，生成在工件上形成的目標(biāo)圖案的對象圖像，生成表示所述對象圖像的各像素的多個特征量的特征向量，將所述特征向量輸入至通過機器學(xué)習(xí)構(gòu)建出的模型，從所述模型輸出表示具有所述特征向量的像素為邊緣的像素還是非邊緣的像素的判定結(jié)果，將得到了表示邊緣的像素的判定結(jié)果的具有特征向量的多個像素以線相連來生成假想邊緣，生成沿著相對于所述假想邊緣而沿法線方向延伸的多條探索線的所述對象圖像的多個亮度曲線，根據(jù)多個所述亮度曲線來決定多個邊緣點，將所述多個邊緣點以線相連，由此生成更新后的邊緣。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人塔斯米特株式會社，其通訊地址為：日本神奈川縣橫浜市港北區(qū)新橫浜二丁目6番23號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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