東京毅力科創株式會社中野征二獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利回收機構、基板處理裝置以及回收方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114981930B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180009301.9，技術領域涉及：H01L21/304；該發明授權回收機構、基板處理裝置以及回收方法是由中野征二;山脅陽平設計研發完成，并于2021-01-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本回收機構、基板處理裝置以及回收方法在說明書摘要公布了：一種回收機構，其是在周緣去除機構中去除了的基板的周緣部的回收機構，該回收機構具備：排出部，其將對去除了的所述周緣部進行回收的回收部與所述周緣去除機構連接；以及路徑切換部，其構成為能夠切換所述排出部中的所述周緣部的排出路徑。
本發明授權回收機構、基板處理裝置以及回收方法在權利要求書中公布了：1.一種回收機構，其是在周緣去除機構中去除了的基板的周緣部的回收機構，其中， 該回收機構具備： 回收部，其對去除了的所述周緣部進行回收，所述回收部具有回收箱，該回收箱在內部積存所述周緣部； 排出部，其將所述回收部與所述周緣去除機構連接，其中所述排出部中包括用于暫時保管去除了的所述周緣部的緩沖空間；以及 路徑切換部，其構成為能夠切換所述排出部中的所述周緣部的排出路徑， 其中，在所述回收箱相對于所述回收部安裝時，所述路徑切換部開放以使去除了的所述周緣部回收于所述回收箱，在所述回收箱相對于所述回收部拆卸時，所述路徑切換部封閉，以使去除了的所述周緣部暫時保管于所述緩沖空間中。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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