ASML荷蘭有限公司M·庫(kù)伊曼獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉ASML荷蘭有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利多步驟過(guò)程檢查方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115087930B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為:202180013679.6,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G03F7/20;該發(fā)明授權(quán)多步驟過(guò)程檢查方法是由M·庫(kù)伊曼設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2021-02-05向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。
本多步驟過(guò)程檢查方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:一種用于標(biāo)識(shí)由多步驟過(guò)程形成的特征的陣列的一部分的圖像中的特征的圖像分析方法,該方法包括:分析圖像中可見(jiàn)的特征的變化;以及至少部分基于分析的結(jié)果,將圖像的特征與多步驟過(guò)程的步驟相關(guān)聯(lián)。
本發(fā)明授權(quán)多步驟過(guò)程檢查方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種圖像分析方法,用于標(biāo)識(shí)通過(guò)多步驟過(guò)程形成的特征的陣列的一部分的圖像中的特征,所述方法包括: 分析所述圖像中包含或指示的特征的變化,并分析所述陣列的不同特征的所述變化之間的相關(guān)性; 至少部分基于所述分析的結(jié)果,將所述圖像的特征與所述多步驟過(guò)程的步驟相關(guān)聯(lián);以及 基于所述相關(guān)性,確定所述多步驟過(guò)程中導(dǎo)致缺陷產(chǎn)生的步驟。
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