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          多步驟過(guò)程檢查方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:一種用于標(biāo)識(shí)由多步驟過(guò)程形成的特征的陣列的一部分的圖像中的特征的圖像分析方法,該方法包括:分析圖像中可見(jiàn)的特征的變化;以及至少部分基于分析的結(jié)果,將圖像的特征與多步驟過(guò)程的步驟相關(guān)聯(lián)。

          本發(fā)明授權(quán)多步驟過(guò)程檢查方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種圖像分析方法,用于標(biāo)識(shí)通過(guò)多步驟過(guò)程形成的特征的陣列的一部分的圖像中的特征,所述方法包括: 分析所述圖像中包含或指示的特征的變化,并分析所述陣列的不同特征的所述變化之間的相關(guān)性; 至少部分基于所述分析的結(jié)果,將所述圖像的特征與所述多步驟過(guò)程的步驟相關(guān)聯(lián);以及 基于所述相關(guān)性,確定所述多步驟過(guò)程中導(dǎo)致缺陷產(chǎn)生的步驟。

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