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          杭州電子科技大學(xué)王文獲國家專利權(quán)

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          龍圖騰網(wǎng)獲悉杭州電子科技大學(xué)申請的專利一種脫離基準(zhǔn)平面的平面度誤差測量方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN115790363B

          龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202211357134.X,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01B7/34;該發(fā)明授權(quán)一種脫離基準(zhǔn)平面的平面度誤差測量方法是由王文;岳樹清;許凱飛;方威;王家豪;張恒毅;楊賀;盧科青;陳占鋒;王傳勇設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-11-01向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

          一種脫離基準(zhǔn)平面的平面度誤差測量方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種脫離基準(zhǔn)平面的平面度誤差測量方法;該測量方法如下:一、使用兩個(gè)非接觸位移傳感器相對于被測平面繞同一軸線旋轉(zhuǎn)一周并采樣,得到兩個(gè)數(shù)據(jù)集;三、利用兩個(gè)數(shù)據(jù)集的線性組合消除旋轉(zhuǎn)的軸向誤差,獲得被測面的平面度誤差。本發(fā)明采用兩個(gè)位移傳感器相對于被測平面沿同一軌跡旋轉(zhuǎn)并采樣后,利用自行推導(dǎo)的平面度誤差處理的公式,對兩個(gè)位移傳感器的測量結(jié)果中耦合的軸向回轉(zhuǎn)誤差予以分離,從而在未提高機(jī)械結(jié)構(gòu)精度的情況下得到精確的平面度誤差,避免了高精度基準(zhǔn)平面的使用,實(shí)現(xiàn)高效率、低成本和高精度的平面度誤差測量。

          本發(fā)明授權(quán)一種脫離基準(zhǔn)平面的平面度誤差測量方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種脫離基準(zhǔn)平面的平面度誤差測量方法,其特征在于:包括以下步驟: 步驟一、將被測工件3安裝在旋轉(zhuǎn)平臺13上,使得被測工件3的被測面與旋轉(zhuǎn)平臺13的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線平行;在機(jī)架上設(shè)置朝向被測面的兩個(gè)非接觸位移傳感器;兩個(gè)非接觸位移傳感器的檢測部到旋轉(zhuǎn)平臺13的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的距離相等; 步驟二、旋轉(zhuǎn)平臺13帶動(dòng)被測工件3旋轉(zhuǎn)一周;兩個(gè)非接觸位移傳感器對被測面進(jìn)行持續(xù)采樣,分別得到數(shù)據(jù)集S1={s11,s12,...,s1N},S2={s21,s22,...,s3N};其中,s1i為第一個(gè)非接觸位移傳感器對被測面進(jìn)行第i次采樣時(shí)測得距離相對于起始時(shí)刻測得距離的變化值;s2i為第二個(gè)非接觸位移傳感器對被測面進(jìn)行第i次采樣時(shí)測得距離相對于起始時(shí)刻測得距離的變化值;i=1,2,...,N;N為采樣次數(shù); 步驟三、根據(jù)數(shù)據(jù)集S1、S2構(gòu)建集合S={s1,s2,...,sN};si為兩個(gè)非接觸位移傳感器的第i次檢測所得數(shù)據(jù)的線性組合,其表達(dá)式si=s1i-s2i; 步驟四、建立消除旋轉(zhuǎn)平臺13軸向回轉(zhuǎn)誤差的平面度誤差關(guān)系式如下: si=ri-ri+m1 其中,ri、ri+m1為兩個(gè)非接觸位移傳感器在被測面上的檢測點(diǎn)對應(yīng)的平面度誤差;m1為兩個(gè)非接觸位移傳感器對同一采樣位置的滯后采樣次數(shù),其表達(dá)式為α1為兩個(gè)非接觸位移傳感器相對于旋轉(zhuǎn)平臺13轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的相位差;f為兩個(gè)非接觸位移傳感器的采樣頻率;ω為旋轉(zhuǎn)平臺13的轉(zhuǎn)動(dòng)角速度; 步驟五.通過求解步驟四中得到的關(guān)系式得到誤差向量R={r1,r2,...,rN};取誤差向量R的極差作為被測面的平面度誤差。

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