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龍圖騰網獲悉中國科學院半導體研究所申請的專利化學氣相沉積設備及碳化硅外延層制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115896934B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211664731.7，技術領域涉及：C30B25/02；該發明授權化學氣相沉積設備及碳化硅外延層制備方法是由劉興昉;楊尚宇;閆果果;王雷;趙萬順;孫國勝;曾一平設計研發完成，并于2022-12-23向國家知識產權局提交的專利申請。

本化學氣相沉積設備及碳化硅外延層制備方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種化學氣相沉積設備，包括：備樣室、操作室、反應室以及取樣室。其中，備樣室適用于提供放置裝載有襯底晶圓片的托盤的空間；操作室，包括：機械手以及陷氣阱，機械手適用于抓取備樣室中的托盤并輸運至對應的反應室；陷氣阱適用于排空進入操作室的氣體；反應室，包括：多個生長室以及中轉室，多個生長室分別適用于提供生長相應外延層的反應空間；中轉室適用于在多個生長室同時生長對應的外延層時，對多個托盤提供暫存的空間；取樣室，適用于放置裝載有反應完成的晶圓片的托盤；其中，操作室配置為設置于化學氣相沉積設備的中心，其他各室配置為設置于操作室的周圍；操作室與其它各室之間通過閥門連接。

本發明授權化學氣相沉積設備及碳化硅外延層制備方法在權利要求書中公布了：1.一種化學氣相沉積設備，包括： 備樣室，適用于提供放置裝載有襯底晶圓片的托盤的空間； 操作室，包括： 機械手，包括彈力繩盒、彈力繩收納輪、電機和可動指盤，適用于自動抓取所述備樣室中的所述托盤并輸運至對應的反應室； 所述彈力繩盒適用于放置彈力繩，其中，所述機械手的材質為石墨以及碳化硅陶瓷中的一種，所述彈力繩為碳繩，均可以耐高溫至1650℃； 所述可動指盤上配置有多組可動指，其中，相鄰兩組可動指呈90度夾角，從而實現平穩地抓取裝載有晶圓片的托盤； 陷氣阱，包括上部和下部，適用于排空進入所述操作室的氣體；所述上部包括整面鋪設的入氣孔、第一隔離墻；其中，所述入氣孔被所述第一隔離墻均勻地隔開； 所述下部包括陷氣槽、第二隔離墻、回氣孔；其中，所述陷氣槽配置為環狀，相鄰兩個所述第二隔離墻之間設置有多個所述回氣孔； 所述反應室，包括： 第一生長室，適用于提供生長緩沖層的反應空間； 第二生長室，適用于提供生長N型外延層的反應空間； 第三生長室，適用于提供生長P型外延層的反應空間；以及 中轉室，適用于在所述第一生長室、所述第二生長室以及所述第三生長室同時生長對應的外延層時，對多個所述托盤提供暫存的空間； 取樣室，適用于放置裝載有反應完成的晶圓片的托盤； 其中，所述操作室配置為設置于化學氣相沉積設備的中心，所述備樣室、所述反應室以及所述取樣室配置為設置于以所述操作室為中心的同一圓周上；所述操作室與其它各室之間通過閥門連接。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院半導體研究所，其通訊地址為：100083 北京市海淀區清華東路甲35號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。