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龍圖騰網(wǎng)獲悉意子科技私人投資有限公司申請的專利一種精度可控調(diào)制的光微機電結(jié)構(gòu)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN116068224B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202310206786.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01P15/125；該發(fā)明授權(quán)一種精度可控調(diào)制的光微機電結(jié)構(gòu)是由張洪波;王晨璐;任恒江;羅杰設(shè)計研發(fā)完成，并于2023-03-06向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種精度可控調(diào)制的光微機電結(jié)構(gòu)在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種精度可控調(diào)制的光微機電結(jié)構(gòu)，包括懸浮質(zhì)量塊、多條懸浮系鏈、光子晶體微腔、懸浮光波導(dǎo)、第一連接系帶、懸浮梁、第二連接系帶、剛性塊體及電容器，其中，電容器的第一電容端固定于懸浮梁，第二電容端固定于剛性塊體。本發(fā)明使用電容調(diào)制的方法來調(diào)制光學(xué)微腔，不僅可對光刻工藝生產(chǎn)的光學(xué)微腔進(jìn)行校正，使光子晶體微腔的實際共振波長與設(shè)計的工作波長完好匹配，還可調(diào)整因為工作環(huán)境的變化導(dǎo)致的共振波長的偏移，從而提高測量精度。本發(fā)明中電容器只調(diào)制了光子晶體微腔的間隙，沒有影響質(zhì)量塊的機械特性，即只調(diào)制光學(xué)特性，可避免調(diào)制串?dāng)_。本發(fā)明中光波導(dǎo)與光學(xué)微腔的一端相連固定，具有良好的光學(xué)耦合穩(wěn)定性及系統(tǒng)整體穩(wěn)定性。

本發(fā)明授權(quán)一種精度可控調(diào)制的光微機電結(jié)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種精度可控調(diào)制的光微機電結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括： 懸浮質(zhì)量塊； 多條懸浮系鏈，分布于所述懸浮質(zhì)量塊的X方向兩側(cè)并與所述懸浮質(zhì)量塊連接； 光子晶體微腔，位于所述懸浮質(zhì)量塊的Y方向一側(cè)，所述Y方向與所述X方向相互垂直，所述光子晶體微腔包括第一懸浮光子晶體與第二懸浮光子晶體，所述第一懸浮光子晶體固定于所述懸浮質(zhì)量塊，所述第二懸浮光子晶體位于所述第一懸浮光子晶體遠(yuǎn)離所述懸浮質(zhì)量塊的一側(cè)并與所述第一懸浮光子晶體間隔設(shè)置； 懸浮光波導(dǎo)，位于所述光子晶體微腔遠(yuǎn)離所述懸浮質(zhì)量塊的一側(cè)并與所述光子晶體微腔間隔預(yù)設(shè)距離； 第一連接系帶，連接于所述第二懸浮光子晶體與所述懸浮光波導(dǎo)之間； 懸浮梁，位于所述懸浮光波導(dǎo)遠(yuǎn)離所述光子晶體微腔的一側(cè)并與所述懸浮光波導(dǎo)間隔設(shè)置； 第二連接系帶，連接于所述懸浮光波導(dǎo)與所述懸浮梁之間； 剛性塊體，位于所述懸浮梁遠(yuǎn)離所述懸浮光波導(dǎo)的一側(cè)并與所述懸浮梁間隔設(shè)置； 電容器，包括在Y方向上間隔設(shè)置的第一電容端與第二電容端，所述第一電容端固定于所述懸浮梁，所述第二電容端固定于所述剛性塊體。

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