上海鐳望光學科技有限公司邱嘉樺獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海鐳望光學科技有限公司申請的專利一種基于Scheimpflug條件的微反射鏡陣列角位置監測光學系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116974150B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310879356.6,技術領域涉及:G03F7/20;該發明授權一種基于Scheimpflug條件的微反射鏡陣列角位置監測光學系統是由邱嘉樺設計研發完成,并于2023-07-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種基于Scheimpflug條件的微反射鏡陣列角位置監測光學系統在說明書摘要公布了:一種基于Scheimpflug條件的微反射鏡陣列角位置監測光學系統,沿光束傳播方向依次設置有激光器陣列、微透鏡陣列、多階梯平板玻璃、成像鏡組、微反射鏡陣列、反射光接收鏡組和位置傳感器;激光器陣列發射一定數值孔徑的陣列光束,微透鏡陣列將所述陣列光束準直后垂直射入多階梯平板玻璃,成像鏡組將多階梯平板玻璃出射的陣列光束投影成像至微反射鏡陣列,且激光器陣列、微反射鏡陣列和成像鏡組滿足Scheimpflug條件,以使微反射鏡處的光斑尺寸小于微反射鏡的有效區域;反射光接收鏡組將微反射鏡陣列反射的光束聚焦至位置傳感器,通過位置傳感器對微反射鏡陣列中各微反射鏡的角位置進行監測。微反射鏡陣列處成像質量優異、結構簡單、易于裝調、測量精度高、監測效率快。
本發明授權一種基于Scheimpflug條件的微反射鏡陣列角位置監測光學系統在權利要求書中公布了:1.一種基于Scheimpflug條件的微反射鏡陣列角位置監測光學系統,其特征在于,沿光束傳播方向依次設置有激光器陣列、微透鏡陣列、多階梯平板玻璃、成像鏡組、微反射鏡陣列、反射光接收鏡組和位置傳感器; 所述激光器陣列發射具有一定數值孔徑的陣列光束,所述微透鏡陣列將所述陣列光束準直后垂直射入所述多階梯平板玻璃,所述成像鏡組將所述多階梯平板玻璃出射的陣列光束投影成像至所述微反射鏡陣列,且所述激光器陣列、微反射鏡陣列和成像鏡組滿足Scheimpflug條件,以使光束傳播至所述微反射鏡陣列中對應微反射鏡處的光斑尺寸小于微反射鏡的有效區域; 所述反射光接收鏡組將所述微反射鏡陣列反射的光束聚焦至所述位置傳感器,通過所述位置傳感器對所述微反射鏡陣列中各微反射鏡的角位置進行監測。
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