上海哥瑞利軟件股份有限公司李意龍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海哥瑞利軟件股份有限公司申請的專利一種半導體前道FDC數據處理方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116932577B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310908610.0,技術領域涉及:G06F16/245;該發明授權一種半導體前道FDC數據處理方法是由李意龍;馬士凱;鄭中;向彪;王文瑞設計研發完成,并于2023-07-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種半導體前道FDC數據處理方法在說明書摘要公布了:本發明半導體生產技術領域,尤其涉及一種半導體前道FDC數據處理方法,包括如下步驟:獲取外部條件信息;從RUN_CONTEXT表中查詢得到相關的EQP_ID列表,記為EQP_LIST;得到每一個具體的EQP信息;從RUN_CONTEXT表中查詢得到符合條件的一組履歷數據;在RUN_DATA表中查詢得到該CONTEXT_DATA對應的數據組TRACE_DATA;拼接所有SUB_SQL得到該FinalSQL;將FinalSQL傳遞給數據庫執行得到SUMMARY_DATA,每個EQP_ID只需執行一個SQL,減少并發,降低服務器壓力;只循環拼接SQL,中間不執行,效率大幅度提高,可實現斷點續跑。
本發明授權一種半導體前道FDC數據處理方法在權利要求書中公布了:1.一種半導體前道FDC數據處理方法,其特征在于,包括如下步驟: 步驟一,輸入條件,獲取外部條件信息; 步驟二,根據步驟一獲得的外部條件信息,從RUN_CONTEXT表中查詢得到相關的EQP_ID列表,記為EQP_LIST; 步驟三,遍歷EQP_LIST,得到每一個具體的EQP信息; 步驟四,根據步驟三獲得的EQP信息和條件信息,從RUN_CONTEXT表中查詢得到符合條件的一組履歷數據,記為CONTEXT_DATA_LIST; 步驟五,遍歷CONTEXT_DATA_LIST,得到每一條具體的CONTEXT_DATA,在RUN_DATA表中查詢得到該CONTEXT_DATA對應的數據組,記為TRACE_DATA,對該數據組進行特征值計算SQL編寫,得到SUB_SQL; 步驟六,拼接所有SUB_SQL得到該EQP_ID特征值計算的一個整體FinalSQL; 步驟七,將FinalSQL傳遞給數據庫執行,即可得到該EQP_ID在相關條件下的特征數據集SUMMARY_DATA; 所述步驟二中,從RUN_CONTEXT表中查詢數據時,需要借助CONFIG_MAPPING表來確定相關字段; 所述步驟五具體包括如下五個小步驟: 步驟51,根據CONTEXT_DATA和RUN_DATA表中對應的字段,在RUN_DATA表中查詢得到該CONTEXT_DATA對應的數據組,記為TRACE_DATA; 步驟52,根據CONFIG_MAPPING表確認該CONTEXT_DATA對應的EQP_ID的步驟字段STEP和所有參數字段PARAM_FIELDS; 步驟53,遍歷PARAM_FIELDS,得到每一個具體PARAM_FIELD; 步驟54,根據PARAM_FIELD、EQP_ID、STEP字段,即可查詢得到該參數的數據組; 步驟55,根據算法需要,對該數據組進行特征值計算SQL編寫,得到SUB_SQL。
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