東莞澤攸精密儀器有限公司;安徽澤攸科技有限公司牛義獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東莞澤攸精密儀器有限公司;安徽澤攸科技有限公司申請的專利電子顯微鏡的低真空度控制系統及低真空度控制方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN118888415B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202410835667.7,技術領域涉及:H01J37/18;該發明授權電子顯微鏡的低真空度控制系統及低真空度控制方法是由牛義;張小龍;鄭飛;解江燦;龔坤湘設計研發完成,并于2024-06-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本電子顯微鏡的低真空度控制系統及低真空度控制方法在說明書摘要公布了:本申請提供一種電子顯微鏡的低真空度控制系統及低真空度控制方法,低真空度控制系統包括樣品倉、第一真空檢測件、第一閥體、穩壓裝置、第二閥體、機械泵、控制器,第一真空檢測件實時檢測樣品倉內的實際真空度;控制器將實際真空度與預設的目標真空度進行對比;當實際真空度低于目標真空度時,控制器控制第一閥體開啟,穩壓裝置釋放氣體至樣品倉,將實際真空度提高至目標真空度;當實際真空度高于目標真空度時,控制器控制第二閥體開啟,機械泵抽離樣品倉的氣體,將實際真空度降低至目標真空度。本申請能夠精確調控樣品倉內的真空度,使得低真空環境不再成為電子顯微鏡的工作限制,顯著提高了低真空環境下的電子顯微鏡的成像質量和工作穩定性。
本發明授權電子顯微鏡的低真空度控制系統及低真空度控制方法在權利要求書中公布了:1.一種電子顯微鏡的低真空度控制系統,其特征在于,所述低真空度控制系統包括樣品倉、第一真空檢測件、第一閥體、穩壓裝置、第二閥體、機械泵、控制器,所述第一真空檢測件安裝于所述樣品倉內,所述穩壓裝置通過供氣管道連接所述樣品倉,所述第一閥體設置于所述供氣管道,所述機械泵通過抽氣管道連接所述樣品倉,所述第二閥體設置于所述抽氣管道,所述控制器與所述第一真空檢測件、所述第一閥體、所述第二閥體電連接; 所述第一真空檢測件實時檢測所述樣品倉內的實際真空度,并實時反饋至所述控制器;所述控制器將所述實際真空度與預設的目標真空度進行對比;當所述實際真空度低于所述目標真空度時,所述控制器控制所述第一閥體開啟,并調整所述第一閥體的開啟度,所述穩壓裝置釋放氣體至所述樣品倉,直至將所述實際真空度提高至所述目標真空度;當所述實際真空度高于所述目標真空度時,所述控制器控制所述第二閥體開啟,所述機械泵抽離所述樣品倉的氣體,直至將所述實際真空度降低至所述目標真空度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人東莞澤攸精密儀器有限公司;安徽澤攸科技有限公司,其通訊地址為:523830 廣東省東莞市松山湖園區學府路1號9棟310室;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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