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龍圖騰網獲悉華海清科股份有限公司申請的專利噴桿調節裝置及噴桿調節方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119114494B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411116898.9，技術領域涉及：B08B3/02；該發明授權噴桿調節裝置及噴桿調節方法是由路新春;孫傳惲;劉佳軍;李長坤設計研發完成，并于2024-08-15向國家知識產權局提交的專利申請。

本噴桿調節裝置及噴桿調節方法在說明書摘要公布了：本申請一種噴桿調節裝置及噴桿調節方法，所述噴桿用于晶圓清洗裝置，噴桿調節裝置包括：落點標定件，其可拆卸地安裝在所述晶圓清洗裝置中，并且其上設置有與晶圓上的預設噴液落點匹配的落點標識；以及指向調節件，其包括與所述噴桿可拆卸地連接的連接部和與所述連接部連接的定位部，所述指向調節件的延伸方向與所述噴桿噴出清洗液的噴射方向匹配，所述指向調節件配置成帶動所述噴桿繞其軸線轉動至所述定位部與所述落點標識對準，以使所述噴桿能夠將清洗液噴射到所述預設噴液落點。根據本申請的技術方案，通過落點標定件和指向調節件的匹配性調節設計，提高了噴桿角度調節準確性和便捷性。

本發明授權噴桿調節裝置及噴桿調節方法在權利要求書中公布了：1.一種噴桿調節裝置，噴桿用于晶圓清洗裝置，其特征在于，噴桿調節裝置包括： 落點標定件，其可拆卸地安裝在所述晶圓清洗裝置中，并且其上設置有與晶圓上的預設噴液落點匹配的落點標識；以及 指向調節件，其包括與所述噴桿可拆卸地連接的連接部和與所述連接部連接的定位部，所述指向調節件的延伸方向與所述噴桿噴出清洗液的噴射方向匹配，所述指向調節件配置成帶動所述噴桿繞其軸線轉動至所述定位部與所述落點標識對準，以使所述噴桿能夠將清洗液噴射到所述預設噴液落點； 所述落點標定件包括沿豎直面布置的板形的本體，所述落點標識包括垂直于所述豎直面自所述本體凸出的標定凸臺;所述定位部包括伸縮套筒和定位頂桿,所述定位頂桿的一端滑動套接到所述伸縮套筒中，另一端構造有與所述落點標識相匹配的對準部，所述對準部包括與所述標定凸臺的上表面形狀匹配的對準臺，所述對準臺配置成抵靠所述標定凸臺的上表面； 所述本體構造有自所述本體的表面向內凹進的標定斜槽，所述標定斜槽沿水平方向延伸，并包括：與所述標定凸臺的上表面齊平的底面；自所述底面的靠內的邊緣向上延伸的豎立面；和自所述豎立面背離所述底面的邊緣傾斜延伸至所述本體的表面的傾斜面；所述落點標識包括在所述豎立面上水平延伸的標識線，所述對準部包括對準尖端，所述對準尖端具有棱邊以與所述標識線形成線與線對準； 所述落點標定件的朝向一個噴桿的第一側設有兩個以上標定凸臺、朝向另一個噴桿的第二側設有兩個以上標定凸臺；落點標定件同一側的兩個以上標定凸臺的豎直位置相同；落點標定件兩側的標定凸臺設置在不同的豎直位置，以適應晶圓兩側的不同的清洗需求； 所述豎立面所在平面與晶圓在厚度方向上的中截面重合，且豎立面的厚度不小于2mm； 所述標識線設在晶圓中心上方10至100mm處。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人華海清科股份有限公司，其通訊地址為：300350 天津市津南區咸水沽鎮聚興道11號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。