中國科學院上海技術物理研究所王小坤獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院上海技術物理研究所申請的專利一種用于真空低溫冷箱或杜瓦的光窗裝置及其制作方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119681426B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411919507.7,技術領域涉及:B23K26/21;該發明授權一種用于真空低溫冷箱或杜瓦的光窗裝置及其制作方法是由王小坤;陳俊林;曾智江;俞君;蔣夢蝶;魏紅軍;李雪設計研發完成,并于2024-12-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于真空低溫冷箱或杜瓦的光窗裝置及其制作方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種用于真空低溫冷箱或杜瓦的光窗裝置及其制作方法,適用于鍍膜光學元件的真空氣密固定。本發明主要由字分色片、安裝框和金屬焊料,通過引入特定的結構、流程優化和工藝處理,實現了分色片作為真空低溫冷箱或杜瓦的光窗的氣密固定。同時解決了金屬框架在真空低溫冷箱或杜瓦上氣密安裝固定對分色片光學性能影響的問題。本發明的結構簡單,操作方便,兼容性好,可靠性高。可應用于各種帶光學薄膜元件與金屬框架的低應力氣密固定工藝。
本發明授權一種用于真空低溫冷箱或杜瓦的光窗裝置及其制作方法在權利要求書中公布了:1.一種用于真空低溫冷箱或杜瓦的光窗裝置的制作方法,所述光窗裝置包括分色片(1)和安裝框(2);分色片(1)的邊緣呈階梯狀,分色片(1)的邊緣下表面設置向內折的第一臺階(11),安裝框(2)的內側邊緣亦相應地設置呈階梯狀,安裝框(2)內側的下緣設置向內折的第二臺階(21),分色片(1)的第一臺階(11)架設在安裝框(2)的第二臺階(21)上;第二臺階(21)之上設置第三臺階(22),分色片(1)的邊緣與第三臺階(22)之間的間隙是放置焊料的焊料腔(3),分色片(1)通過焊料與安裝框(2)固定; 第二臺階(21)與第三臺階(22)過渡處設置有凹陷的工藝槽(24); 安裝框(2)上表面還設置有凹陷的隔熱槽(23); 分色片(1)的邊緣上表面設置第四臺階(12),分色片(1)的上表面高于安裝框(2)上表面; 分色片(1)邊緣光學拋光后進行金屬化,安裝框(2)是金屬框,進行鍍鎳處理; 焊料為金錫合金,分子式是AuSn20; 其特征在于:所述光窗裝置的制作步驟如下: 步驟一,加工分色片(1)邊緣的第一臺階(11)和第四臺階(12),再將分色片(1)邊緣進行光學拋光,并進行金屬化;將安裝框(2)鍍鎳; 步驟二,將安裝框(2)與分色片(1)邊緣進行共晶焊接,并在專用夾具下進行氣密性檢漏; 步驟三,將分色片(1)上表面和下表面進行二次光學加工,以滿足光學要求; 步驟四,將經過步驟三的二次光學加工的分色片(1)進行光學膜的鍍制; 步驟五,將完成步驟四的用于真空低溫冷箱或杜瓦的光窗裝置再次進行氣密性檢漏; 步驟六,將經步驟五的檢漏合格的用于真空低溫冷箱或杜瓦的光窗裝置安裝在真空低溫冷箱或杜瓦上,利用激光氣密焊接使其氣密固定在真空低溫冷箱或杜瓦上。
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