深圳市萬福達智能裝備有限公司羅業(yè)才獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市萬福達智能裝備有限公司申請的專利基于智能視覺控制的半導(dǎo)體固晶機及控制方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN120497181B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202510978196.X,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/67;該發(fā)明授權(quán)基于智能視覺控制的半導(dǎo)體固晶機及控制方法是由羅業(yè)才;萬傲梅;萬鵬設(shè)計研發(fā)完成,并于2025-07-16向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本基于智能視覺控制的半導(dǎo)體固晶機及控制方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種基于智能視覺控制的半導(dǎo)體固晶機及控制方法,包括:真空吸附邦頭、芯片中轉(zhuǎn)平臺、視覺檢測模塊、點膠模塊、角度修正模塊、固晶模塊;基于視覺檢測模塊高響應(yīng)高精度定位與檢測,在芯片抓取過程中進行角度偏差修正,實現(xiàn)高精度點膠,提高固晶的效率及準確性。
本發(fā)明授權(quán)基于智能視覺控制的半導(dǎo)體固晶機及控制方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種基于智能視覺控制的半導(dǎo)體固晶機,其特征在于,包括:真空吸附邦頭、芯片中轉(zhuǎn)平臺、視覺檢測模塊、點膠模塊、角度修正模塊、固晶模塊;其中, 視覺檢測模塊,用于對放置在芯片中轉(zhuǎn)平臺上的芯片進行定位檢測,確定芯片的位置信息和姿態(tài)信息; 真空吸附邦頭,用于根據(jù)芯片的位置信息和姿態(tài)信息對芯片進行抓取,并將芯片移動至點膠位置; 點膠模塊,用于根據(jù)預(yù)設(shè)程序控制點膠頭的位置與膠水的量,在基板指定位置進行點膠; 角度修正模塊,用于在真空吸附邦頭將芯片移動至點膠位置的過程中,基于芯片底部飛拍相機實時采集芯片圖像,確定芯片角度偏差信息;基于伺服電機驅(qū)動真空吸附邦頭,根據(jù)偏差信息對芯片進行角度修正,使芯片處于目標姿態(tài); 固晶模塊,用于在真空吸附邦頭將芯片移動至點膠位置后,基于多軸聯(lián)動控制將處于目標姿態(tài)的芯片放置在基板上,并進行固晶操作; 真空吸附邦頭通過綁頭固定底座安裝在Z軸升降機構(gòu)上;導(dǎo)軌座安裝在綁頭固定底座上,上方安裝綁頭Z壓簧座、彈簧調(diào)節(jié)頂絲和彈簧;導(dǎo)軌座與旋轉(zhuǎn)頭安裝座彈性連接; 導(dǎo)軌座內(nèi)置音圈電機定子和第一交叉導(dǎo)軌,音圈電機動子和第一交叉導(dǎo)軌的另一端安裝在旋轉(zhuǎn)頭安裝座上,通過音圈電機實現(xiàn)對真空吸附邦頭進行壓力控制; Z讀頭座固定在導(dǎo)軌座上,光柵讀頭固定在Z讀頭座上,光柵固定在旋轉(zhuǎn)頭安裝座上,通過光柵讀頭的反饋對旋轉(zhuǎn)頭安裝座的位移量進行把控; 綁頭旋轉(zhuǎn)壓蓋、第一馬達安裝在旋轉(zhuǎn)頭安裝座上,高頭手擰螺絲和氣接頭安裝在綁頭旋轉(zhuǎn)壓蓋上;綁頭旋轉(zhuǎn)壓蓋、綁頭旋轉(zhuǎn)軸及吸嘴抱緊軸的內(nèi)部設(shè)有導(dǎo)氣腔; 綁頭旋轉(zhuǎn)軸貫穿第一馬達并固定在第一馬達上,通過第一馬達帶動綁頭旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn),綁頭旋轉(zhuǎn)軸與綁頭旋轉(zhuǎn)壓蓋的氣路聯(lián)通,綁頭旋轉(zhuǎn)軸下方安裝吸嘴抱緊軸,吸嘴抱緊軸下方安裝橡膠吸嘴,橡膠吸嘴通過氣路工作達到吸附芯片的目的。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人深圳市萬福達智能裝備有限公司,其通訊地址為:518000 廣東省深圳市寶安區(qū)石巖街道水田社區(qū)祝龍?zhí)锫返谒墓I(yè)區(qū)18號光耀工業(yè)廠區(qū)一廠房F四層;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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