富時精工(南京)有限公司李冰妍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉富時精工(南京)有限公司申請的專利一種設有聚焦組件的真空鍍膜設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120485726B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510984550.X,技術領域涉及:C23C14/35;該發明授權一種設有聚焦組件的真空鍍膜設備是由李冰妍;陳舟設計研發完成,并于2025-07-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種設有聚焦組件的真空鍍膜設備在說明書摘要公布了:本發明公開了一種設有聚焦組件的真空鍍膜設備,涉及真空鍍膜設備領域,包括真空鍍膜本體,所述真空鍍膜本體內固定有傳輸機構,所述傳輸機構包括固定在真空鍍膜本體內的電機,所述電機的輸出端與旋轉軸相互連接,所述旋轉軸上固定有輸送輪,所述真空鍍膜本體內安裝有磁控濺射靶;清理機構,用于輸送輪表面異物的清理。該設有聚焦組件的真空鍍膜設備,采用可調節的偏壓機構與彈性銅片配合,可以在基板鍍膜過程中,使得基板處于負極電場內,通過負極電場可以有效吸引游離的正極帶電粒子向基板進行聚集,從而實現游離的正極帶電粒子的聚焦作用,進而有效保證基板鍍膜的均勻性,且可以有效提高靶材產生的正極帶電粒子的利用率。
本發明授權一種設有聚焦組件的真空鍍膜設備在權利要求書中公布了:1.一種設有聚焦組件的真空鍍膜設備,包括真空鍍膜本體,其特征在于:所述真空鍍膜本體內固定有傳輸機構,所述傳輸機構包括固定在真空鍍膜本體內的電機,所述電機的輸出端與旋轉軸相互連接,且相鄰兩個旋轉軸之間通過齒輪和帶齒配合實現傳動,所述旋轉軸上固定有輸送輪,所述真空鍍膜本體內安裝有磁控濺射靶; 清理機構,用于輸送輪表面異物的清理,所述清理機構設置在傳輸機構下方,且清理機構由傳輸機構驅動; 載料機構,用于實現基板的限位輸送,所述載料機構與輸送輪接觸,所述載料機構包括與輸送輪接觸的載具,且載具上固定有限位座,并且限位座與基板相互連接,同時限位座上轉動連接有限位板,所述限位板與限位座之間連接有扭簧,且限位板與基板接觸實現定位,并且兩個限位座之間通過彈性銅片相互連接,同時彈性銅片左右兩側均為斜面結構; 限位機構,用于實現載料機構的位置限定,所述限位機構與真空鍍膜本體相互連接,所述限位機構包括設置在真空鍍膜本體內的活動架,且活動架凹面一側安裝有可滾動的滾珠,并且滾珠與載具接觸滾動; 偏壓機構,通過與彈性銅片配合形成電場實現聚焦作用,所述偏壓機構安裝在真空鍍膜本體內,所述偏壓機構與載料機構相互連接; 偏壓機構包括設置在真空鍍膜本體內的安裝板,且安裝板上安裝有支撐板,并且支撐板與彈性銅片的位置相互對應,同時支撐板的寬度大于與彈性銅片的寬度,所述安裝板上還安裝有偏壓板,且偏壓板與真空電子器件陰極相互連接,并且偏壓板雙排等間距分布有三組,同時相鄰兩個偏壓板之間的距離小于彈性銅片的寬度。
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