京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都中電熊貓顯示科技有限公司邱濤獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都中電熊貓顯示科技有限公司申請的專利陣列基板的柵極斷線修復(fù)方法、陣列基板和顯示裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN114420709B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為:202210050250.0,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10D86/60;該發(fā)明授權(quán)陣列基板的柵極斷線修復(fù)方法、陣列基板和顯示裝置是由邱濤;趙一靜;陳紅利;楊曦;楊宇丹;蔣雷設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-01-17向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本陣列基板的柵極斷線修復(fù)方法、陣列基板和顯示裝置在說明書摘要公布了:本公開實(shí)施例提供一種陣列基板的柵極斷線修復(fù)方法、陣列基板和顯示裝置。所述柵極斷線修復(fù)方法包括以下步驟:形成第一金屬層,并對所述第一金屬層進(jìn)行曝光和刻蝕,形成柵極電路,檢測柵極斷線點(diǎn)位;形成第二金屬層、對所述第二金屬層進(jìn)行曝光,對曝光后的第二金屬層進(jìn)行光刻膠修復(fù)和刻蝕,形成源漏電路;對形成的陣列基板進(jìn)行斷線修補(bǔ)。本公開實(shí)施例的技術(shù)方案針對外圍雙層金屬配線,通過前置源漏電路光刻膠修復(fù),使得光刻膠修復(fù)后刻蝕源漏電路金屬層的方式將在雙層金屬區(qū)修復(fù)配線轉(zhuǎn)變?yōu)樵趩螌咏饘賲^(qū)修復(fù)配線,從而提升外圍雙層配線區(qū)柵極斷線修補(bǔ)的成功率和可靠性。
本發(fā)明授權(quán)陣列基板的柵極斷線修復(fù)方法、陣列基板和顯示裝置在權(quán)利要求書中公布了:1.一種陣列基板的柵極斷線修復(fù)方法,其特征在于,包括以下步驟: 柵極電路成型步驟,包括在襯底基板表面形成第一金屬層,并對所述第一金屬層進(jìn)行曝光和刻蝕,形成柵極電路,檢測柵極斷線點(diǎn)位; 源漏電路成型步驟,包括在所述第一金屬層背離襯底基板一側(cè)形成第二金屬層,對所述第二金屬層進(jìn)行曝光,對曝光后的第二金屬層進(jìn)行光刻膠修復(fù),并進(jìn)行刻蝕,形成源漏電路;刻蝕光刻膠修復(fù)后的第二金屬層包括刻蝕光刻膠剝離位置處的第二金屬層,以在刻蝕位置處形成單個(gè)金屬層; 陣列基板修補(bǔ)步驟,包括對形成的陣列基板進(jìn)行柵極斷線修補(bǔ),其中,所述光刻膠修復(fù)包括下載檢測到的柵極斷線點(diǎn)位,在所述第二金屬層背離襯底基板的表面上形成光刻膠層,并剝離柵極斷線點(diǎn)位兩側(cè)的部分光刻膠,在源漏電路刻蝕后的第二金屬層遠(yuǎn)離襯底基板的一側(cè)形成源漏電路保護(hù)層;對形成的陣列基板進(jìn)行柵極斷線修補(bǔ)包括下載光刻膠修復(fù)后的斷線點(diǎn)位,在柵極斷線兩側(cè)的單金屬層區(qū)域進(jìn)行打孔、注膜和成膜修復(fù)連接斷線。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都中電熊貓顯示科技有限公司,其通訊地址為:100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋路10號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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