買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉松山湖材料實(shí)驗(yàn)室;東莞市卓聚科技有限公司申請(qǐng)的專利膜厚測量裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116026271B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210247607.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B21/08；該發(fā)明授權(quán)膜厚測量裝置是由陳瑤;徐金林;程元元;李智斌;周泳設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-03-14向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本膜厚測量裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種膜厚測量裝置，包括：減震臺(tái)、測量裝置本體；測量裝置本體設(shè)于減震臺(tái)上，測量裝置本體包括基座、垂直顯微鏡、納米微動(dòng)力臺(tái)、電動(dòng)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)、移動(dòng)掃描臺(tái)、XY電動(dòng)臺(tái)；垂直顯微鏡、納米微動(dòng)力臺(tái)、XY電動(dòng)臺(tái)均安裝在基座上，移動(dòng)掃描臺(tái)設(shè)于XY電動(dòng)臺(tái)上，電動(dòng)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)設(shè)于移動(dòng)掃描臺(tái)上，納米微動(dòng)力臺(tái)與電動(dòng)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)相對(duì)設(shè)置；納米微動(dòng)力臺(tái)與探針相連，納米微動(dòng)力臺(tái)用于控制探針的下壓距離和力度；移動(dòng)掃描臺(tái)用于在確定好樣品測試的位置且規(guī)劃好掃描路徑后，在掃描過程中帶動(dòng)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)移動(dòng)。本發(fā)明能夠保證檢測過程中對(duì)探針位移控制與力控制的穩(wěn)定性、以及樣品臺(tái)的平穩(wěn)性。

本發(fā)明授權(quán)膜厚測量裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種膜厚測量裝置，其特征在于，包括：減震臺(tái)、測量裝置本體； 所述測量裝置本體設(shè)于所述減震臺(tái)上，所述測量裝置本體包括基座、垂直顯微鏡、納米微動(dòng)力臺(tái)、電動(dòng)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)、移動(dòng)掃描臺(tái)、XY電動(dòng)臺(tái)； 所述垂直顯微鏡、所述納米微動(dòng)力臺(tái)、所述XY電動(dòng)臺(tái)均安裝在所述基座上，所述移動(dòng)掃描臺(tái)設(shè)于所述XY電動(dòng)臺(tái)上，所述電動(dòng)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)設(shè)于所述移動(dòng)掃描臺(tái)上，所述納米微動(dòng)力臺(tái)與所述電動(dòng)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)相對(duì)設(shè)置； 所述納米微動(dòng)力臺(tái)與探針相連，所述垂直顯微鏡用于觀察所述電動(dòng)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)上的樣品，所述納米微動(dòng)力臺(tái)用于控制所述探針的下壓距離和力度； 所述XY電動(dòng)臺(tái)用于在測試初始階段帶動(dòng)所述電動(dòng)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)移動(dòng)到放樣位置，所述電動(dòng)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)用于放置以及旋轉(zhuǎn)樣品，所述移動(dòng)掃描臺(tái)用于在確定好樣品測試的位置且規(guī)劃好掃描路徑后，配合所述納米微動(dòng)力臺(tái)，在掃描過程中帶動(dòng)所述電動(dòng)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)移動(dòng)； 所述移動(dòng)掃描臺(tái)包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、臺(tái)面、調(diào)平機(jī)構(gòu)，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)于所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)上，所述臺(tái)面設(shè)于所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上，所述電動(dòng)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)設(shè)于所述臺(tái)面上，所述調(diào)平機(jī)構(gòu)設(shè)于所述臺(tái)面的底部； 所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)輪、從動(dòng)輪、壓板、同步帶、滑動(dòng)板，所述同步帶設(shè)于所述主動(dòng)輪和所述從動(dòng)輪之間，所述壓板用于將所述滑動(dòng)板固定在所述同步帶上； 所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括超精密平板、摩擦片、側(cè)板、基板，所述超精密平板設(shè)于所述基板上，所述側(cè)板設(shè)于所述基板的兩側(cè)，所述摩擦片設(shè)于所述超精密平板上，所述滑動(dòng)板能夠在所述超精密平板上滑動(dòng)； 所述超精密平板為滑動(dòng)表面達(dá)到納米級(jí)精度的平板。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人松山湖材料實(shí)驗(yàn)室;東莞市卓聚科技有限公司，其通訊地址為：523000 廣東省東莞市松山湖大學(xué)創(chuàng)新城A1棟；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。