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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海芯立電子科技有限公司申請(qǐng)的專利一種刻蝕機(jī)真空腔體檢測(cè)裝置獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223319990U 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422854892.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01M3/20；該實(shí)用新型一種刻蝕機(jī)真空腔體檢測(cè)裝置是由郭杰;秦寶宏;辛奇;徐鋒;文冬;閆樂(lè)成;胡凱設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-22向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種刻蝕機(jī)真空腔體檢測(cè)裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種刻蝕機(jī)真空腔體檢測(cè)裝置，涉及刻蝕機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，包括底座，所述底座頂部固定連接有機(jī)架，所述機(jī)架一側(cè)固定連接有液壓推桿，本實(shí)用新型中，支撐板與螺紋桿之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接，支撐板和檢測(cè)架之間固定連接有電動(dòng)推桿，利用電機(jī)一驅(qū)動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，吸槍沿待測(cè)工件一側(cè)緩慢移動(dòng)，然后電動(dòng)推桿驅(qū)動(dòng)檢測(cè)架升降，調(diào)節(jié)檢測(cè)架的使用高度，調(diào)節(jié)吸槍的檢測(cè)范圍，實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)工件兩個(gè)側(cè)壁的同時(shí)檢測(cè)，從而快速判斷待測(cè)工件的側(cè)壁是否存在泄漏，可避免泄漏點(diǎn)的遺漏，進(jìn)而提高檢測(cè)的準(zhǔn)確性，利用電機(jī)二驅(qū)動(dòng)齒輪一轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪二和限位板同步轉(zhuǎn)動(dòng)，改變待測(cè)工件在導(dǎo)向架頂部的方向，從而便于調(diào)整待測(cè)工件的檢測(cè)位置。

本實(shí)用新型一種刻蝕機(jī)真空腔體檢測(cè)裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種刻蝕機(jī)真空腔體檢測(cè)裝置，包括底座5，所述底座5頂部固定連接有機(jī)架3，其特征在于：所述機(jī)架3一側(cè)固定連接有液壓推桿1，所述液壓推桿1底部設(shè)置有檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括檢測(cè)架7、電機(jī)一10和電動(dòng)推桿16，兩個(gè)所述檢測(cè)架7之間固定連接有L型板14，所述L型板14一側(cè)固定連接有固定塊15，所述固定塊15一側(cè)固定連通有輔助管13，所述輔助管13一端固定連通有吸槍23，所述吸槍23頂部固定連接有導(dǎo)向塊，導(dǎo)向塊與檢測(cè)架7之間滑動(dòng)連接，且所述導(dǎo)向塊通過(guò)螺紋連接有絲杠17，所述絲杠17一端固定連接有電機(jī)一10，所述電機(jī)一10一側(cè)與檢測(cè)架7固定連接，所述檢測(cè)架7底部與電動(dòng)推桿16固定連接，所述電動(dòng)推桿16底部固定連接有支撐板8。

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