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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所申請的專利壓電振動傳感器模組獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119533640B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411704805.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01H11/08；該發(fā)明授權(quán)壓電振動傳感器模組是由武震宇;汪洋;李安娜;張程;張家昌設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-11-26向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本壓電振動傳感器模組在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種壓電振動傳感器模組，壓電振動傳感器模組包括阻尼基板蓋板和阻尼基板底座、質(zhì)量塊、壓電懸梁臂、固定框架、電荷電壓放大器；其中，質(zhì)量塊通過壓電懸梁臂懸空在阻尼基板蓋板和阻尼基板底座之間，通過質(zhì)量塊的接收外界振動信號，帶動壓電懸梁臂的振動，產(chǎn)生壓電感應信號，形成豎向的壓電振動傳感器模組，實現(xiàn)了豎向的止擋功能，提升了壓電振動傳感器模組的抗沖擊能力；同時采用多個開口模組單元疊加并與阻尼基板底座結(jié)合，疊加多個壓電感應信號，通過電荷電壓放大器實現(xiàn)信號的放大，成倍的提升了壓電振動傳感器模組的靈敏度和可靠性，降低了工藝復雜度，節(jié)約了流片成本。

本發(fā)明授權(quán)壓電振動傳感器模組在權(quán)利要求書中公布了：1.一種壓電振動傳感器模組，其特征在于，所述壓電振動傳感器模組包括： 阻尼基板，所述阻尼基板包括阻尼基板蓋板及阻尼基板底座； 固定框架，所述固定框架設(shè)置于所述阻尼基板蓋板與所述阻尼基板底座之間，且所述固定框架、所述阻尼基板蓋板與所述阻尼基板底座之間具有振動腔； 壓電懸梁臂，所述壓電懸梁臂與所述固定框架連接，位于所述振動腔中，所述阻尼基板蓋板中設(shè)置有與所述壓電懸梁臂電連接的電學重布線； 質(zhì)量塊，所述質(zhì)量塊與所述壓電懸梁臂連接，且懸置于所述振動腔中，所述質(zhì)量塊包括相對設(shè)置的第一端和第二端，所述質(zhì)量塊的第一端與所述阻尼基板蓋板之間具有第一距離h1，所述質(zhì)量塊的第二端與所述阻尼基板底座之間具有第二距離h2；將壓電懸梁臂斷裂強度下所述質(zhì)量塊的最大位移距離記作D100，將D100的80%記作D80，所述第一距離h1的范圍為D80≤h1≤D100，所述第二距離h2的范圍為D80≤h2≤D100； 所述固定框架、所述壓電懸梁臂及所述質(zhì)量塊采用MEMS技術(shù)一體化形成； 所述阻尼基板蓋板、所述固定框架、所述壓電懸梁臂及所述質(zhì)量塊組成一個開口模組單元，所述壓電振動傳感器模組還包括一個所述阻尼基板底座和至少兩個層疊的所述開口模組單元，相鄰的所述開口模組單元電性相連。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所，其通訊地址為：200050 上海市長寧區(qū)長寧路865號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。