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龍圖騰網獲悉無錫星微科技有限公司申請的專利一種適用于開放式裝載設備晶圓凸片檢測機構及調節方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120356852B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510846436.0，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種適用于開放式裝載設備晶圓凸片檢測機構及調節方法是由陸敏杰;王兆昆;劉毫毫設計研發完成，并于2025-06-24向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種適用于開放式裝載設備晶圓凸片檢測機構及調節方法在說明書摘要公布了：本發明屬于半導體加工設備技術領域，提供了一種適用于開放式裝載設備晶圓凸片檢測機構及調節方法。本發明包括裝載平臺和晶圓，裝載平臺的上表面設有凸片調節工裝和第一料盒，晶圓水平擺放在第一料盒內部，凸片調節工裝位于第一料盒側面，凸片調節工裝設有至少兩個測量面，測量面與晶圓的側面接觸，每個測量面所在的豎直平面相互平行并具有距離差。本發明解決了料盒中的首、末層晶圓之間的檢測結果差異性較大等問題；采用俯仰頂絲和前后頂絲提高凸片檢測機構的定位精度，從而提高晶圓凸片的調節效率；改變凸片檢測機構的定位方式，降低調節難度，節約生產裝配成本。

本發明授權一種適用于開放式裝載設備晶圓凸片檢測機構及調節方法在權利要求書中公布了：1.一種適用于開放式裝載設備晶圓凸片檢測機構，包括裝載平臺（1）和晶圓12），其特征在于，所述裝載平臺（1）的上表面設有凸片調節工裝（11）和第一料盒（3），所述晶圓12）水平擺放在所述第一料盒（3）內部，所述凸片調節工裝（11）位于所述第一料盒（3）側面，所述凸片調節工裝（11）設有至少兩個測量面（11c），所述測量面（11c）與所述晶圓12）的側面接觸，每個所述測量面（11c）所在的豎直平面相互平行并具有距離差； 所述裝載平臺（1）設有凸片傳感器（6），所述裝載平臺（1）還設有俯仰頂絲（10），所述俯仰頂絲（10）與所述凸片傳感器（6）的上表面和或下表面接觸，所述俯仰頂絲（10）能夠調整凸片傳感器（6）和水平面之間的夾角； 所述凸片調節工裝（11）包括第一測量面和第二測量面，在檢測過程中，所述晶圓先與凸片調節工裝（11）的第一測量面接觸，所述凸片調節工裝（11）繼續推進，所述第二測量面與晶圓接觸時，所述凸片調節工裝（11）停止；所述凸片傳感器（6）朝靠近凸片調節工裝（11）方向移動，所述凸片傳感器（6）被觸發時停止。

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