浙江晟霖益嘉科技有限公司請求不公布姓名獲國家專利權
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龍圖騰網(wǎng)獲悉浙江晟霖益嘉科技有限公司申請的專利一種高溫反應設備獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予,授權公告號為:CN120393923B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202510888874.3,技術領域涉及:B01J19/24;該發(fā)明授權一種高溫反應設備是由請求不公布姓名;賀忻;王保;王慧鋒;徐鈞設計研發(fā)完成,并于2025-06-30向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。
本一種高溫反應設備在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了高溫反應設備,包括:反應腔體;基座,基座設置在反應腔體的底部用于承載基片,基座包括沿徑向靠近反應腔體側壁依次設置的中心區(qū)、基盤區(qū)和邊緣區(qū);至少一個第一隔熱板,在反應腔體的頂部表面設置有第一隔熱板,擋板,擋板與基座相對,第一隔熱板設置在擋板背離基座的一側,第一隔熱板與擋板之間具有氣流間隙,第一隔熱板包括多個子隔熱板,與基盤區(qū)對應的子隔熱板的綜合導熱率大于與中心區(qū)和邊緣區(qū)對應的子隔熱板的綜合導熱率。
本發(fā)明授權一種高溫反應設備在權利要求書中公布了:1.一種高溫反應設備,其特征在于,所述高溫反應設備(1)包括: 反應腔體(3); 基座(8),所述基座(8)設置在所述反應腔體(3)的底部用于承載基片,所述基座(8)包括沿徑向靠近所述反應腔體的側壁依次設置的中心區(qū)(81)、基盤區(qū)(80)和邊緣區(qū); 至少一個第一隔熱板(5),在所述反應腔體(3)的頂部表面設置有所述第一隔熱板(5), 擋板(6),所述擋板(6)與所述基座相對,所述第一隔熱板(5)設置在所述擋板(6)背離所述基座的一側,所述第一隔熱板(5)與所述擋板(6)之間具有氣流間隙,所述第一隔熱板(5)包括多個子隔熱板(50),與所述基盤區(qū)(80)對應的所述子隔熱板的綜合導熱率大于與所述中心區(qū)(81)和所述邊緣區(qū)對應的所述子隔熱板的綜合導熱率,其中, 所述子隔熱板(50)的綜合導熱率滿足如下公式: keff=(t1*k1t3)+(t2*k2t3) 其中,keff為綜合導熱率,t1為所述子隔熱板的厚度,k1為所述子隔熱板的導熱率,t2為所述氣流間隙的厚度,k2為所述氣流間隙中的氣流導熱率,t3為所述子隔熱板和所述氣流間隙的總厚度。
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