顯示器生產服務株式會社樸庸碩獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉顯示器生產服務株式會社申請的專利阻尼系統、包括阻尼系統的基板處理裝置和基板處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114639614B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111442666.9，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權阻尼系統、包括阻尼系統的基板處理裝置和基板處理方法是由樸庸碩;趙才衍設計研發完成，并于2021-11-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本阻尼系統、包括阻尼系統的基板處理裝置和基板處理方法在說明書摘要公布了：本發明提供實時監控氣體的壓差而在超過所設定的壓差范圍的情況下自動調節排氣量并且在緊急情況下能夠進行迅速的手動調節的阻尼系統，和可以實時地自動控制工藝室內的壓差并提高工藝環境的穩定性和成品的成品率的基板處理裝置和基板處理方法。為此，本發明公開的阻尼系統包括：殼體，具有氣體通過的流路；軸部件，可旋轉地結合到殼體；調節板，設置在流路上，與軸部件結合而聯動并調節流路的開度；壓力傳感器，測量第一排氣壓力與第二排氣壓力之間的壓力差；驅動部，使所述軸部件旋轉；以及控制部，控制驅動部，以使第一排氣壓力與第二排氣壓力之間的壓力差與預先設定的基準壓力差一致。
本發明授權阻尼系統、包括阻尼系統的基板處理裝置和基板處理方法在權利要求書中公布了：1.一種阻尼系統，其特征在于，包括： 殼體，具有氣體通過的流路； 軸部件，可旋轉地結合到所述殼體； 調節板，設置在所述流路上，與所述軸部件結合而聯動并調節所述流路的開度； 壓力傳感器，其一部分在所述調節板的上游露出，另一部分在所述調節板的下游露出，用于測量所述調節板的上游的第一排氣壓力與所述調節板的下游的第二排氣壓力之間的壓力差； 驅動部，使所述軸部件旋轉； 控制部，控制所述驅動部，使得所述第一排氣壓力與所述第二排氣壓力之間的壓力差與預先設定的基準壓力差一致； 控制箱，結合到所述殼體的上部，收納所述驅動部和所述控制部；以及 手動調節部，與所述軸部件結合，調節所述調節板的開度， 所述手動調節部包括：連接部件，與所述軸部件結合而聯動，并且在外表面處具有結合孔；調節棒，其一端部結合到所述結合孔，使所述連接部件旋轉來調節所述調節板的開度；以及引導狹縫，形成在所述控制箱處，被所述調節棒的另一端部貫通，引導所述調節棒的移動。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人顯示器生產服務株式會社，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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