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龍圖騰網獲悉友威科技股份有限公司申請的專利一種獨立式連續工藝系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116445880B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210023351.9，技術領域涉及：C23C14/56；該發明授權一種獨立式連續工藝系統是由李原吉;劉忠炯;林忠炫;魏木元設計研發完成，并于2022-01-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種獨立式連續工藝系統在說明書摘要公布了：本發明提供一種獨立式連續工藝系統，用于對待工藝物件進行電漿處理，該系統依序設置有預處理機臺、第一獨立工藝機臺及終端獨立工藝機臺。第一獨立工藝機臺具有工藝腔體及兩個閥門，兩個閥門分別設于工藝腔體的兩側，工藝腔體依序設置有相互連通的第一真空抽氣區、電漿處理區及第二真空抽氣區；終端獨立工藝機臺具有終端工藝腔體及終端閥門，終端閥門設于終端工藝腔體的一側，終端工藝腔體依序設置有相互連通的第一終端真空抽氣區、終端電漿處理區及一第二終端真空抽氣區。借此，本發明解決以往真空濺鍍設備的濺鍍品質低落及濺鍍成本過高的問題。

本發明授權一種獨立式連續工藝系統在權利要求書中公布了：1.一種獨立式連續工藝系統，其特征在于：該獨立式連續工藝系統用于對一待工藝物件進行電漿處理，該獨立式連續工藝系統包括： 一預處理機臺，對該待工藝物件進行預先處理； 一第一獨立工藝機臺，其與該預處理機臺連接，并接收來自該預處理機臺的該待工藝物件，該第一獨立工藝機臺具有一工藝腔體及兩個閥門，該兩個閥門分別設于該工藝腔體的兩側，該工藝腔體依序設置有相互連通的一第一真空抽氣區、一電漿處理區及一第二真空抽氣區，該第一獨立工藝機臺還包括有一第一真空抽氣模組及一第二真空抽氣模組，該第一真空抽氣模組對應于該第一真空抽氣區的位置且與該第一真空抽氣區連通，該第二真空抽氣模組對應于該第二真空抽氣區的位置且與該第二真空抽氣區連通，第一真空抽氣區及第二真空抽氣區呈對稱設置；以及 一終端獨立工藝機臺，該終端獨立工藝機臺連接于該第一獨立工藝機臺遠離該預處理機臺的一側，該終端獨立工藝機臺具有一終端工藝腔體及一終端閥門，該終端閥門設于該終端工藝腔體靠近該第一獨立工藝機臺的一側，該終端工藝腔體依序設置有相互連通的一第一終端真空抽氣區、一終端電漿處理區及一第二終端真空抽氣區，該終端獨立工藝機臺還包括有一第一終端真空抽氣模組及一第二終端真空抽氣模組，該第一終端真空抽氣模組對應于該第一終端真空抽氣區的位置且與該第一終端真空抽氣區連通，該第二終端真空抽氣模組對應于該第二終端真空抽氣區的位置且與該第二終端真空抽氣區連通，第一終端真空抽氣區及第二終端真空抽氣區呈對稱設置。

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