深圳市拉普拉斯能源技術有限公司林佳繼獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市拉普拉斯能源技術有限公司申請的專利一種具有高均勻性的硼擴散方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114664643B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210101940.4，技術領域涉及：H01L21/223；該發明授權一種具有高均勻性的硼擴散方法是由林佳繼;毛文龍;祁文杰;范偉;盧佳;梁笑設計研發完成，并于2022-01-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種具有高均勻性的硼擴散方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種具有高均勻性的硼擴散方法，通過不同壓力與溫度條件下的沉積，調整BC13在整管內的沉積分布，從而實現更好的均勻性。本發明的硼擴散方法，使得爐口爐尾區域硅片方阻較為均勻，使得爐管整體方阻均勻性得到提升。本發明的方法能夠適用于大管徑及大長度爐管，使整個爐管中硅片片內方阻與片間方阻均勻性提高。
本發明授權一種具有高均勻性的硼擴散方法在權利要求書中公布了：1.一種具有高均勻性的硼擴散方法，其特征是，包括以下步驟： 1將硅片裝入石英舟中，將石英舟推入擴散爐石英管中； 2抽真空至壓力為20～500mBar； 3升溫至750～950℃，通入50～500sccm的BC13氣體和100～5000sccm的O2氣體，保持2～20min，進行第一次沉積； 4使用氮氣或者氧氣進行壓力調整，回壓至下步通源需要的工藝壓力；繼續通入50～500sccm的BC13氣體、100～5000sccm的O2氣體，保持2～20min，進行第二次沉積； 5升溫至900～1050℃，通入氮氣，進行推進，保持0～30min； 6升溫至950～1100℃，通入氧氣，保持20～120min，進行氧化; 7溫度降至700～850℃時，通入氮氣，回壓，將石英舟從擴散爐石英管中取出； 8將硅片從石英舟上取下。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市拉普拉斯能源技術有限公司，其通訊地址為：518118 廣東省深圳市坪山區坑梓街道吉康路1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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